Fourniture complète d’un microscope électronique à transmission et d’une caméra associée.
Livraison, installation, mise en service et vérifications techniques avec fourniture de documentation et formation des utilisateurs.
Garantie initiale et possibilités d’extensions ; contrat de maintenance préventive et curative.
Suivi dématérialisé des interventions et traçabilité des composants, conformité aux exigences de performance et d’ergonomie logicielle.

Fourniture de trois enceintes cryostat sur plans GrAHal (300 K, 50 K, 4 K) avec couvercles et obturateurs.

Architecture coaxiale emboîtée « poupées russes » ; tolérances dimensionnelles critiques pour l’emboîtement (inter‑paroi 300/50 : -22 mm ; 50/4 : -21 mm).

Deux volumes sous vide à maintenir (inter‑parois et volume interne 50 K). Tests requis : vide ≤ 10^-5 mbar après 24 h, fuite ≤ 10^-9 mbar·L/s, détection par aspersion d’hélium et test de choc thermique des soudures.

Acceptation conditionnée à inspection visuelle, contrôle dimensionnel (gabarits) et essais d’étanchéité; propositions de procédés constructifs admises si respect des tolérances.

Acquisition et mise en service d'un outil ALD automatisé pour dépôts métalliques et nitrures métalliques avec 8 procédés définis (MoN, WN, TiN, TiSiN, TiAlN, TiAlC, Mo et réduction WOx par plasma H+).
Séries d'essais exigées par procédé : GPC, uniformité, densité (XRR), composition, résistivité et conformalité (ex. conformalité >95% sur géométries HAR ; GPC >0,6 Å/cycle pour certains procédés).
Fourniture complète incluant hardware, software, transfert wafers, mini-environnement, documentation technique, P&ID, plans de tests (FAT/SAT/qualification), formation utilisateur et maintenance de 1er niveau.
Options attendues : formation avancée, contrats de maintenance post-garantie, pièces de rechange et chiffrage du coût total de possession.

• Paillasse chimie semi‑automatique pour gravure et nettoyage de matériaux III‑V (InP, GaAs) sur plaquettes de 100, 150, 200 et 300 mm, porteurs 3 plaquettes/porte‑panier.

• Quatre bacs (2 chimie, 1 rinçage EDI ultraclean, 1 nettoyage sprays) avec remplissage automatique, recirculation, filtration, chauffage 20–85 °C (±2 °C) et vidange gravitaire.

• Dosage automatique pour SC1/SC2/DSP/HF, capteurs de niveaux (très haut/haut/bas), sécurité ampoules de dosage et dépressurisation en défaut.

• Robot de transfert, écran tactile, 2 aspirateurs acide, douchette EDI, soufflette azote, plan perforé; supervision et traçabilité des consommations via SECS/GEM.

Fourniture d'un cryostat optique à recyclage d'hélium incluant cryostat, compresseur/chiller, logiciel de pilotage et documentation complète.
Plage de fonctionnement 10 K–300 K, température minimale ≤ 10 K, stabilité thermique < ±0,75 K, autonomie de refroidissement annoncée 24–48 h.
Fenêtres optiques 300–1300 nm, compatibilité lasers 320 nm (25 mW) et 660 nm (100 mW); portes‑échantillons pour 10×10 mm; dérive mécanique < 100 nm.
Installation et mise en service, garantie 12 mois pièces et main‑d’œuvre; offre à préciser délais d'intervention, maintenance et disponibilité pièces détachées.

Machine wire bonding ultrasonique pour fils Au et Al, capacité 12–75 µm, modes wedge et ball bonding.
Tests d'acceptation prévus (ex. ball bonding 12 µm, série 100 fils) et système de vision binoculaire pour contrôle qualité.
Table inox 1200×1000 mm fournie; contrôle thermique du workholder jusqu'à 200 °C.
Formation pour 3–4 personnes, documentation papier + numérique et garantie de 1 an.

Fourniture d'un re-liquéfacteur d'hélium capable de récupérer le gaz d'évaporation d'un cryostat, de le recondenser et de réinjecter l'hélium liquide dans le cryostat.

Contrôle de pression pour équilibrer évaporation et condensation; raccordement au compresseur par conduites flexibles (longueur minimale 20 m).

Plage de fonctionnement 7–38 °C; bruit ≤70 dBA à 1 m; consommation électrique ≤10 kW (50 Hz).

Documentation technique complète exigée; proposition chiffrée d'une installation/mise en service demandée.

• Acquisition d'un pot vibrant monoaxial (inclinable) pour essais vibration de nanosatellites jusqu'à 3U et composants spatiaux.
• Exigences principales : masse en mouvement ≥ 4,5 kg, Force Sinus > 5 kN, plage 20–2000 Hz, accélération > 90 g, déplacement ≥ 25 mm, vitesse > 1,9 m/s.
• Equipement avec amplificateur intégré, refroidissement, alimentation électrique adaptée, connectique BNC et interfaces d'acquisition 24 bits synchronisées.
• Livrables : fiches techniques, certificat CE, documentation d'installation/sécurité, plans d'implantation, notice d'interface et notice d'utilisation; formation sur site 1 jour (≥4 personnes, français).

Étude, conception détaillée, fourniture, installation et mise en service d'une unité pilote Rotating Packed Beds (fonctionnement chaud).

• Documentation technique associée selon le descriptif résumé AP0606 RPB2.
• Réponse exigée à une prestation supplémentaire obligatoire ; possibilité d'une PSE facultative décrite dans le dossier technique.
• Sous-traitance admise sous agrément ; le titulaire reste responsable de l'exécution.

Maintenance courante et contrôle qualité des données continues des stations accélérométriques.
Mise à niveau (jouvence) des stations OGCA et IRVG.
Interventions de dépannage facturées sur bons de commande et gestion opérationnelle d’une crise sismique.
Méthodologie, délais d’intervention et qualifications des intervenants exigés; livrables techniques attendus (rapports, comptes rendus, données vérifiées).

Système de photolithographie UV par projection conforme aux spécifications techniques détaillées en annexe 1.

• Variante obligatoire : configuration à 2 optiques (résines fines haute résolution et résines épaisses).
• Remise de la documentation technique et garanties de conformité et de performance.
• Livraison coordonnée avec le destinataire et garantie incluse jusqu'au parfait achèvement.