Équipement de photolithographie UV par projection
Description technique
Objet
Fourniture d'un système de photolithographie UV par projection conforme aux spécifications techniques et exigences fonctionnelles détaillées en annexe 1.
Configuration et options obligatoires
- Fourniture de la configuration principale du système.
- Variante imposée (PSE n°1) : configuration à 2 optiques distinctes couvrant l'insolation de résines fines à haute résolution et l'insolation de résines épaisses.
Exigences contractuelles et livrables
- Remise de la documentation technique, des interfaces et des compatibilités prévues en annexe.
- Garantie couvrant la période jusqu'au parfait achèvement des prestations.
- Coordination de la livraison et des opérations de réception avec le destinataire indiqué.
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Critères d'évaluation
| Pondération | Critère |
|---|---|
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