Paillasse de gravure pour matériaux III-V

Caractéristiques générales

Paillasse chimie semi-automatique destinée à la gravure et au nettoyage de matériaux III‑V (InP, GaAs) sur plaquettes de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm.
Dimensions hors tout du poste : 2500 mm (L) × 1700 mm (P) × 2100 mm (H).
Interface opérateur : écran tactile frontal pour pilotage et visualisation en temps réel.
Robot de transfert des plaquettes et porteurs de plaques configurés pour 100/150/200/300 mm (capacité 3 plaquettes par porte‑panier).

Bacs, traitement chimique et hydraulique

Quatre bacs dédiés :
- Bac 1 : chimie compatible HCl / NH4OH / H2O2 / EDI, remplissage automatique, recirculation et filtration, chauffage et régulation, plage de température 20–85 °C (±2 °C), vidange gravitaire.
- Bac 2 : zone de nettoyage par sprays EDI, gestion de cycles de rinçage et nettoyage ciblé, dispositif de mesure de résistivité pour contrôle de rinçage.
- Bac 3 : bac de rinçage EDI (QDR/ultraclean) avec rampes de sprays, bouchons/couvercles escamotables, vannage et vidange gravitaire, contrôle de contamination.
- Bac 4 : chimie spécifique (HF / HCl / H2SO4 / H2O2 / EDI), remplissage automatique, recirculation/filtration, sécurité de niveau et rampes de sprays.
Tous les bacs, tuyauteries et composants en matériaux chimiquement compatibles avec les solutions listées ; conception anti‑rétention, drainage dédié et circuits purgés pour nettoyage.
Systèmes de pompage, recirculation et filtration dimensionnés pour maintien de qualité des bains et contrôle des paramètres (température, résistivité, débit).

Dosage, automation et sécurité des fluides

Système de dosage automatique pour préparation et gestion des bains SC1 (NH4OH/H2O2/EDI), SC2 (HCl/H2O2/EDI), DSP (H2SO4/H2O2/EDI) et HF/EDI ; gestion des positions, débits massiques et séparation via canisters.
Sécurité des modules de dosage : capteurs et procédures de dépressurisation en défaut, protection des ampoules doseuses, détection de fuite et verrouillage en anomalie.
Capteurs de niveau multiples (TRÈS HAUT, haut, bas) et alarmes associées; vidange gravitaire et dispositifs de rétention pour zones acides.

Équipements opérationnels et utilities

Deux aspirateurs acidés, douchette EDI, soufflette azote, plan de travail perforé, rampes de sprays pour nettoyage ciblé.
Gestion des eaux de rinçage et eaux résiduaires avec circuits de rétention et drainage séparé pour zones acides et rinçage ; possibilité d’architecture facilitant réutilisation/traitement des eaux de rinçage.

Sécurité, confinement et conformité

Extraction localisée et caisson d’extraction, compartimentage des zones acide et rinçage, portes verrouillées et capteurs de fuite gaz/chimie.
Exigences spécifiques liées aux hydrures (phosphine, arsine) : détection, alarmes et procédures d’arrêt d’urgence intégrées.
Conformité recherchée aux normes d’extraction et confinement (ex. NF EN 14175, NF X15‑206) et compatibilité avec classes salle blanche (ISO 3 à ISO 8).
Sécurité électrique TBTS et verrous physiques/logiciels pour opérations critiques.

Logiciel, supervision et intégration usine

Logiciel embarqué de pilotage et supervision affichant en temps réel niveaux, températures, résistivités, états recettes et historiques de process.
Traçabilité des consommations (gaz, chimies, eau déminéralisée) et collecte/export des données via interface SECS/GEM ; conformité aux normes SEMI (E5/E30/E37/E39/E84) et fourniture d’annexe SECS/GEM pour qualification automatisée.
Accès distant sécurisé possible, mises à jour/mises à niveau logicielles gratuites pendant la période de garantie.

Installation, maintenance et options

Fourniture des plans d’installation, procédures en 3 tiers d’installation et documents de maintenance, pièces de rechange et gestion de l’obsolescence.
Options chiffrables : échangeurs/refroidisseurs, transformateur, formations maintenance (niveau 1 et avancé), extension de garantie, options supplémentaires liées au drainage et à la sécurité.

Tous les détails du marché

Gagnez du temps, toutes les infos des documents sont déjà analysées: cahier des charges, infos clés, budget, contact, etc

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