47 marchés publics en Équipements spécialisés Isère (38), Rhône (69), Savoie (73) et d'autres

Banc humide automatisé pour décapage BEOL avec robotique de chargement/déchargement et prise en charge de paniers 25 wafers.

Configuration type : 5 bains solvants chauffés et recirculés, 3 bains IPA recirculés, 1 cuve EDI et un module de séchage capable de traiter 25–50 wafers.

Capacité jusqu’à 50 wafers, compatibilité substrats 100/150/200 mm (épaisseurs 350–1200 µm), gestion multi-recettes avec contrôle température, agitation (ultrason/megasonic) et séchage Dry-In/Dry-Out.

Maintenance préventive, curative et courante d'implanteurs ioniques en exploitation.

• Interventions préventives planifiées (fréquence constructeur, ≤36 mois) et curatives avec délai d’intervention ≤4 heures ouvrées et délai moyen de réparation ≤3 jours ouvrés.
• Support téléphonique en heures ouvrables (délai de rappel ≤2 heures), gestion des pièces détachées et des consommables hors forfait, suivi de l’obsolescence et propositions d’upgrades.
• Reporting : compte rendu post-intervention, états et réunions trimestrielles, bilan annuel ; formation des intervenants et respect des procédures en salles propres (ISO 3–ISO 8).

• Cryostat fermé à hélium conçu pour atteindre et maintenir des températures inférieures à 1 K avec trois platines 50 K / 4 K / 1 K.
• Interfaces : port optique KF40 minimum, port KF63 pour câblages, lignes RF UT34/UT85 (SMA), 2×24 lignes DC blindées et thermalisation des fibres.
• Contrôleur multi-canaux (≥8 mesures, 4 sorties PID), enregistrement des données, montage et mise en service sur site avec essais de performance.
• Formation sur site pour 3 personnes et support technique (réponse ≤3 jours ouvrés); options pour dilution, LNAs, filtres cryogéniques et réduction des vibrations.

Fourniture et installation d'au moins 60 sondes de télérelève pour conteneurs d'apport volontaire, avec concentrateurs et répéteurs si nécessaire.
Mise à disposition d'une plateforme web sécurisée multi-utilisateurs pour affichage, historique, prévisions, alertes et génération de feuilles de route.
Transmission périodique des mesures (au minimum une transmission toutes les 24 heures), solutions pour zones de faible couverture, autonomie énergétique et maintenance des batteries incluses.
Formation des agents à l'installation et à l'utilisation, support technique, hébergement du service et rapport annuel d'exploitation.