5 marchés publics en Équipements spécialisés dans l'Isère (38)

Générateur analogique micro-ondes à deux canaux synchronisés en phase, couverture continue 0,1–50 GHz. Phase réglable 0–360° par canal, stabilité relative ≤ 2° pic-pic sur 1 h à 50 GHz. Puissance sortie par canal -20 dBm à +15 dBm ; entrées/sorties de référence externes et interfaces USB/Ethernet. Exigences de bruit et spurious strictes (ex. bruit de phase ≤ -120 dBc/Hz à 10 GHz, 10 kHz).

Fourniture d'un générateur d'ozone de la série GAMA AKRION, avec des spécifications techniques précises :

• Pression de livraison de 15 à 45 psig, échappement SEMI catégorie 4, et canal de flux de gaz de 10 slm.
• Équipé de filtres, vannes d'arrêt manuelles, et débitmètres numériques pour les lignes de gaz.
• Formation à l'utilisation et à la sécurité, maintenance optionnelle, et contrat de maintenance disponible après garantie.
• Tests d'acceptation en usine et exigences de propreté strictes pour les équipements destinés aux salles blanches.

Système automatisé de mesure de résistance de surface pour wafers 300 mm, couvrant la plage ~5 mΩ/sq à 1 TΩ/sq.

• Architecture à 4 stations avec bascule 4PP/2PP, pré-alignement/alignement automatique et prise en charge FOUP, compatible SEMI GEM/SECS.
• Mesures sur Si, SOI et substrats verre non métallisés ; mesure d'edge resistivity jusqu'à 1 mm du bord.
• Logiciel de cartographie des mesures, calibration automatique, haut throughput, documentation et formation en français, options de maintenance.

Fourniture et mise en service d’un four horizontal double tube pour Smart‑Cut sur plaquettes 300 mm, incluant installation, essais et qualification.

• Traitements thermiques couvrant wet/dry oxidation, anneal jusqu’à ~1300 °C, splitting anneal avec détection de fracture et contrôle d’uniformité 200–400 °C.
• Intégration des systèmes de manipulation compatibles FOUPs, gestion des gaz process (N2, Ar, O2, H2, HCl, NO, premix), et mini‑environnement conforme exigences salle blanche.
• Interfaces SECS/GEM (standards SEMI), FAT/SAT, documentation, formation et options de maintenance (contrats et pièces de rechange).

Conception et fabrication d'un cryostat de qualification des cibles cryogéniques et de sa table optique.

• Vérification et finalisation des études de conception.
• Fabrication et assemblage de l'équipement, incluant des essais de réception et des essais sur site.
• Fourniture de plans d'ensemble, de détails, et d'une liste des opérations de fabrication et de contrôle, validés par le CEA.
• Comprend des enceintes à vide, une chaîne froide, et un système d'écrans thermiques.