Mesure de résistance de surface pour wafers 300 mm

Architecture matérielle et manipulation des wafers

• Quatre stations de mesure distinctes intégrées dans l'outil pour haut débit.
• Prise en charge complète des wafers 300 mm : pré-alignement automatique, alignement de précision et manipulations compatibles FOUP.
• Load ports conformes aux standards SEMI ; interface de communication compatible SEMI GEM/SECS.
• Configuration INFOPAD et possibilités d'adaptation des supports de wafer selon couches mesurées et contraintes optiques/reflectivité.
• Conception des surfaces de contact et des ports de chargement répondant aux exigences de propreté et traçabilité.
• Test de fiabilité des systèmes de manipulation (tests de type endurance / marathon / HY mentionnés comme exigés).

Logiciel, acquisition et traitement des données

• Interface graphique intégrée pour visualisation en temps réel, analyse et cartographie des mesures.
• Logiciel de collecte des données avec génération de cartes de résistivité, historique de calibration et traçabilité des mesures.
• Possibilité d'ajout optionnel d'une caméra pour vision en temps réel et vérification visuelle des alignements.

Calibrations, performance et qualité métrologique

• Système de calibration automatique et procédures assurant stabilité et répétabilité à court et long terme.
• Exigences de précision, répétabilité (tests multipoints) et stabilité (tests sur 10 essais ou plus) clairement prévues.
• Débits et architecture dimensionnés pour un haut throughput tout en conservant précision et répétabilité.

Sécurité, environnement et compatibilité bâtimentaire

• Conception pour installation en salle blanche (enveloppes ISO3–ISO6 selon implantation) avec gestion des flux propres.
• Compatibilité électrique et fluides avec réseaux standards du bâtiment (ex. alimentation TN-S) et isolation des circuits fluides.
• Intégration de dispositifs de sécurité : interverrouillages, détections, protections liées aux risques feu, lasers, produits chimiques et manutentions.

Documentation, formation, maintenance et livrables

• Fourniture de documentation technique complète et manuels rédigés en français (utilisation, maintenance, procédures d'installation et d'acceptation).
• Formation incluse pour opérateurs et ingénierie ; formation maintenance proposée en option.
• Fourniture des procédures FAT, rapports de mise en service, certificats de calibration, données de cartographie et listes pièces détachées.
• Options de contrat de maintenance (préventive/curative, full service) et conditions de garantie avec pénalités et modalités d'extension.

Options et extensibilités

• Possibilité d'ajout ultérieur d'une caméra de vision, de modules de probes supplémentaires et d'extensions logicielles pour analyses avancées.