Four horizontal pour fractionnement Smart-Cut 300 mm

Caractéristiques et capacités thermiques

• Deux tubes indépendants (Tube 1 haut, Tube 2 bas) couvrant des plages de température de ~200 °C à ~1300 °C selon processus. Ramp rates exigés typiques 0,5–15 °C/min.
• Ensemble de procédés thermiques définis :
  • Wet oxidation ~950–1050 °C (plusieurs variantes, dont traitements avec HCl),
  • Anneal à différents paliers (400 °C, 950–1100 °C, 1200 °C, 1300 °C) sous N2, Ar, mélanges N2+H2 (forming gas), O2, NO ou gaz équivalents,
  • Splitting anneal (basse et haute température) avec détection de fracture,
  • Vérification d’uniformité de température sur plage 200–400 °C.

Gestion des gaz et propreté

• Gestion des gaz process : N2, Ar, O2, H2, premix N2+H2, HCl, NO ou équivalents selon cycle.
• Exigences de propreté et mini‑environnement : maîtrise des particules, contrôle ESD, filtres et isolement compatibles exigences salle blanche (niveaux ISO demandés selon sous‑systèmes).

Manipulation, interfaces et automatisation

• Intégration de chargement/déchargement automatisé compatible FOUPs et carriers standards, transferts sans contamination.
• Interfaces de contrôle et supervision conformes standards SEMI/SECS‑GEM (E5, E30, E37, E84, E87, etc.), gestion des logs, sauvegardes et maintenance logicielle.

Livrables, essais et formation

• Factory Acceptance Tests (FAT), installation, tests et Site Acceptance Tests (SAT) avec procédures d’acceptation définies.
• Documentation complète (manuels d’utilisation, sécurité, maintenance), formation utilisateur (niveaux d’utilisation et maintenance) et transfert de connaissances.
• Offre de maintenance (contrats, pièces de rechange, options full service) et conditions de garantie post‑mise en service.

Organisation de déploiement et prestations associées

• Planification par phases (jalons type T0/T1/Tn, étapes de montage et qualification), ressources de mise en œuvre, coordination logistique et procédures de sécurité et radioprotection.
• Fourniture des moyens techniques du fournisseur pour mise en service ; coordination avec moyens locaux et consignes d’accès et sécurité.