Modernisation d’un système de dépôt MCVD

Le marché porte sur la modernisation coordonnée du tour de dépôt et de son armoire de distribution de gaz et de précurseurs, avec un système de pilotage unique. L’implantation de l’équipement reste inchangée ; les dispositifs rénovés doivent tenir compte de l’espace disponible et s’appuyer sur les réseaux existants d’eau de refroidissement, de gaz haute pureté et sur le laveur de gaz.

Tour de dépôt

La mise à jour du tour verrier comprend la rotation contrôlée du tube et la translation du chariot portant le chalumeau principal. La distribution des gaz des chalumeaux principaux et périphériques doit être contrôlée indépendamment, notamment leur ouverture, fermeture et débit. Le chalumeau principal demi-lune est alimenté en H₂ de 0 à 100 L/min et en O₂ de 0 à 50 L/min ; l’azote N₂ est optionnel, de 0 à 20 L/min. Des chalumeaux auxiliaires fixes ou à main sont également utilisés.

Le système doit assurer :

• la mesure de la température de surface du tube de 450 à 2 500 °C, avec une précision de 1 % et une reproductibilité de 0,5 % ;
• la mesure du diamètre du tube pendant le dépôt, en particulier dans les différentes gammes de température ;
• le nettoyage du tube par translation et rotation d’une pièce située à l’intérieur du tube principal ;
• le contrôle de la pression intérieure par contre-pression, avec débit d’azote réglable de 0 à 100 L/min et mesure de pression ;
• la mesure du débit d’aspiration provenant du laveur de gaz à l’extrémité du tube ;
• une commande manuelle du tour, notamment pour la rotation, la translation et l’allumage du chalumeau, hors fonctionnement piloté.

Armoire de gaz et de précurseurs

Une alternative à l’armoire Qualiflow existante est demandée : armoire Logitex déjà utilisée sur le bâti OVD ou nouvelle armoire. Le contrôle des débits massiques des précurseurs gazeux doit être individuel et précis, avec mesure et régulation en boucle fermée ; la précision minimale de mesure demandée pour les chlorures est de 0,01 g/min.

Les plages spécifiées sont : SiCl₄, 0–10 g/min ; GeCl₄, 0–5 g/min ; POCl₃, 0–5 g/min ; He, 0–10 L/min ; O₂, deux plages de 0–0,2 L/min et 0–10 L/min ; Cl₂, 0–500 mL/min ; SiF₄, 0–3 000 mL/min ; C₂F₆, 0–500 mL/min. L’équipement contrôle aussi la température des différents éléments de l’armoire, notamment celle des précurseurs et du système de distribution, ainsi que la température de la ligne process. Les vannes doivent permettre d’orienter les flux vers le tube réacteur ou une ligne évent, manuellement ou par recette.

Pilotage, installation et admission

Une interface unique rassemble l’état des vannes, les grandeurs pilotables et leurs consignes, ainsi que les valeurs des grandeurs mesurées. Le mode recette permet à l’opérateur de définir les paramètres des différentes étapes de fabrication d’une préforme et de les faire exécuter de façon semi-automatique ; l’automate assure le contrôle synchrone du tour et de l’armoire. L’interface doit être ergonomique et aussi complète que possible.

La livraison est prévue dans un délai maximal de 12 mois ; l’installation doit intervenir au plus tard 8 semaines après la livraison. Une visite d’avancement chez le fabricant est prévue avant livraison. Après installation, une formation sur l’équipement est prévue pour 4 personnes ; le titulaire doit rester disponible pour accompagner les utilisateurs et permettre une prise en main à distance.

L’admission comprend la réalisation d’un procédé type sur la base des recettes existantes : une préforme pour fibre standard SMF et une préforme dopée avec des ions de terres rares Er³⁺ ou Yb³⁺ pour fibre active. Si l’armoire de distribution de gaz OVD existante est utilisée, le système doit être testé pour valider son fonctionnement et la commutation entre les machines MCVD et OVD.

Garanties, maintenance et prestations supplémentaires

La garantie minimale demandée est de 24 mois pour les pièces mécaniques et de 18 mois pour les pièces électroniques ; les pièces détachées doivent rester approvisionnables pendant 10 ans. La réponse aux PSE 1 et 2 est obligatoire : extension de garantie des éléments mécaniques et équipements d’automatisation, avec disponibilité des pièces détachées sur le marché européen pendant 10 ans, et contrat de maintenance de 24 mois après la fin de la garantie. La maintenance couvre les vérifications des pièces mécaniques et des systèmes de sécurité du tour ainsi que la maintenance du système de distribution des précurseurs et des gaz, débitmètres compris, par le titulaire ou un sous-traitant proposé. La PSE 3, facultative, porte sur 2 chalumeaux périphériques oxy-hydrogène pour les extrémités du tube de dépôt et le contrôle de leur débit.