Fourniture d’équipements scientifiques pour le CERTeM

L’équipement doit caractériser des échantillons de silicium, de nitrure de gallium (GaN) et de carbure de silicium (SiC). Les équipements de démonstration ne sont pas acceptés. L’appareil est prévu pour une salle propre ISO 8 avec sol ESD ; les conditions indiquées sont 22 °C ± 1 °C, 40 % ± 5 % d’hygrométrie, vide réseau à 200 mbar absolu, ACS et N₂ à 6,5 bar, réseaux électriques 400 V triphasé et 240 V monophasé, et eau de refroidissement à 19 °C ± 1 °C, avec pression aller de 6 bar et retour de 1 bar.

Fonctions et plages de mesure

• Mesure simultanée de 3 échantillons en un seul balayage de température. Impulsions d’amplitude maximale de −100 V dans cette configuration.
• Génération d’impulsions de 1 ms à 12 000 s, jusqu’à ±500 V avec résolution de 500 mV ; au-delà de ±100 V, l’analyse porte sur des composants à deux bornes. Des impulsions jusqu’à 20 ns sont également demandées, à ±10 V et avec une résolution de 0,3 mV.
• Mesure de courant jusqu’à 5 mA, avec résolution de l’ordre du pA sur les plages appropriées ; mesure de capacité et de conductance entre 30 kHz et 5 MHz.
• Mesure de capacité de 1 à 8 000 pF à 1 MHz, pour un signal de 20 à 400 mV, avec une sensibilité attendue de 0,01 pF dans des conditions adaptées.

Le logiciel donne accès aux mesures brutes et permet les analyses C-DLTS, CC-DLTS, I-DLTS, Q-DLTS, DD-DLTS, Deep Level Profiling, ITS, TSC, TSCAP, PICS, Capture DLTS, Laplace DLTS, C(V), I(V), C(t) et I(t).

Conformité et validation

Les sous-ensembles conçus par le titulaire doivent respecter les normes applicables, avec déclaration de conformité et marquage CE. Le titulaire doit déclarer le risque éventuel lié aux champs magnétiques pour les porteurs de pacemaker ou de broches ; si le risque existe, des indicateurs sont requis autour et sur l’équipement. L’arrêt d’urgence doit respecter ISO 13850 ou équivalent. L’acceptation sur le lieu d’exploitation comprend les vérifications SAT ; si les objectifs ne sont pas atteints, un plan d’actions correctives et une nouvelle acceptation peuvent être demandés.