Fourniture d’un microscope électronique à balayage

Fourniture d’un équipement neuf, avec livraison, installation, raccordements, mise en ordre de marche, garantie et formation. Le système doit notamment permettre les essais in situ, l’analyse d’échantillons non conducteurs et l’imagerie ECCI. La salle prévue mesure 5 × 3,5 × 3 m, avec une ouverture de porte de 1,4 × 2 m, une dalle de suspension passive de 1,6 × 1,2 m, climatisation et arrivée d’azote réglable jusqu’à 10 bar ; un circuit d’eau à 18 °C et de l’air comprimé jusqu’à 10 bar sont disponibles dans un local annexe.

La configuration technique demandée comprend :

• Un canon FEG Schottky à variation automatique de tension de 500 V à 30 kV, une cage de Faraday et un picoampèremètre ; les courants aux tensions spécifiées, la possibilité de variation continue, le type et l’emplacement de la cage et les caractéristiques du système booster sont à préciser.
• La caractérisation d’échantillons magnétiques à très faible distance de travail (≤ 2 mm), avec images de bonne résolution et diagrammes de diffraction sans distorsion. Une lentille à immersion doit pouvoir être désactivée pour l’analyse des matériaux métalliques.
• Le passage automatique, sans intervention manuelle, du haut vide au vide dégradé pour l’imagerie et l’EBSD d’échantillons non conducteurs ; technologies, gaz et pressions maximales sont à décrire.
• Des détecteurs d’électrons secondaires Everhart-Thornley en chambre, secondaires dans la colonne et en chambre pour le vide dégradé, ainsi que des détecteurs rétrodiffusés dans la colonne et motorisé en chambre. Ce dernier doit fonctionner à une distance de travail ≤ 4 mm ; technologie, géométrie, modes et tension minimale de détection sont à préciser.

Platine, chambre et pilotage

Platine à cinq axes motorisés (trois translations, deux rotations) ; l’offre précise reproductibilité, amplitudes, hauteur d’échantillon et charges maximales à plat et inclinée. Elle décrit les modes de scan disponibles et les exclusions éventuelles, et comprend une caméra permettant de visualiser la chambre.

La chambre doit pouvoir accueillir ultérieurement des détecteurs EBSD Oxford Symmetry, EDS tiers et BEX Oxford Unity, ainsi qu’un détecteur rétrodiffusé motorisé tiers pour les analyses en température. Les passages doivent aussi permettre le raccordement de platines in situ : platine chauffante Kammrath & Weiss (1 port), nano-indentation Oxford Instruments Femtotools (1 port) et traction Newtec MT1000 (2 ports), avec adaptation envisagée pour deux ports Zeiss. La possibilité d’installer un détecteur EBSD « maison » sans démontage du détecteur EBSD doit être précisée. Si le microscope nécessite un refroidissement à eau, un refroidisseur eau-eau est à proposer.

L’offre inclut l’ordinateur de pilotage (de préférence Windows 11 ; une configuration Windows 10 doit indiquer la date de mise à jour Windows 11, effectuée aux frais du titulaire), deux écrans d’au moins 24 pouces ou un écran de 40 pouces, le ou les postes de travail et un pupitre de commande. Les réglages automatiques de focalisation, astigmatisme, contraste et brillance sont exigés. Les options logicielles avec licence spécifique et celles comprises dans le forfait sont à détailler.

Pour l’ECCI, l’offre décrit le mode Rocking Beam s’il existe, sa résolution spatiale, les outils de navigation, la convergence minimale du faisceau dans les conditions de 1 nA et 10 mm, ainsi que la procédure d’alignement avec le mode imagerie. Les outils API doivent permettre le développement et les essais depuis d’autres PC sans restriction de licence, notamment l’automatisation des essais in situ (corrections de focus, stig et dérive) et les schémas de scan personnalisés avec récupération des signaux des détecteurs pour des temps de pose de quelques µs.

Options, livraison et prise en main

La PSE obligatoire à proposer est un plasma cleaner monté sur la chambre, piloté automatiquement par le logiciel du MEB ; l’Université peut décider de la retenir ou non. Deux PSE facultatives peuvent être proposées : un kit pour créer cinq porte-objets personnalisés et un porte-objet pour enrobages de diamètre 30 mm. L’extension de garantie optionnelle de trois ans est à chiffrer ; sa reconduction éventuelle ne peut porter la garantie totale, garantie de base comprise, au-delà de 10 ans.

Le titulaire assure le transport et le déchargement, la manutention, la protection des espaces traversés, la livraison à l’intérieur des locaux, l’enlèvement des emballages et déchets et le nettoyage des zones de passage. Les raccordements électrique, pneumatique, gaz et eau nécessaires sont inclus. L’installation et la mise en ordre de marche interviennent dans les 30 jours calendaires suivant la livraison.

La formation initiale dure au moins 2 jours pour au moins 3 personnes, dans les 30 jours calendaires suivant la mise en ordre de marche. La formation avancée dure au moins 3 jours pour au moins 3 personnes, entre 30 et 120 jours après cette mise en ordre ; elle porte notamment sur la maintenance de premier niveau, Rocking Beam, ECCI et API. Les vérifications durent jusqu’à 30 jours après la fin de la formation initiale ; l’indisponibilité cumulée imputable à chaque élément ne doit pas dépasser 5 % de la durée d’utilisation effective pour que le service soit réputé régulier.

Garantie et service après-vente

Garantie minimale gratuite d’un an à compter de l’admission, couvrant au minimum démontage, remplacement et remontage des éléments défectueux, ainsi que les frais associés de déplacement, emballage et transport. Pendant la garantie et son éventuelle extension, le SAV comprend notamment les mises à jour et changements de version des logiciels de pilotage, les mises à jour des logiciels de traitement des données et un support technique gratuit et illimité les jours ouvrés. Une simple hotline n’est pas acceptée ; le délai de réponse doit être inférieur à 24 heures, l’intervention sur site en cas de panne au plus tard sous 5 jours ouvrés et le délai de réparation ou de mise au point inférieur à 15 jours calendaires, sauf décision écrite expresse de l’Université pour ce dernier délai. L’offre précise notamment les consommables exclus de garantie, la disponibilité des pièces détachées, les moyens et l’expérience des ingénieurs SAV, ainsi que les coûts de changements logiciels majeurs ou de remplacement de la pointe FEG.