Équipement préindustriel de dépôt PVD pour précurseurs pérovskite

Capacités et performances exigées

• Traitement d'au moins une plaquette G12 (210 x 210 mm) par cycle.
• Uniformité en épaisseur et composition < 3% entre dépôts.
• Possibilité de cycles rapides (ex. dépôts types 650 nm PbI2 et 65 nm CsBr en cycles < 30 minutes).
• Chargement/déchargement rapide en ligne et traçabilité des recipes/processus.

Architecture et évolutivité

• Modules de dépôt en phase vapeur constitués d'une ou plusieurs chambres, avec possibilité d'ajouter des chambres/modules ultérieurement.
• Compartiments ou modules pour conditionnement thermique et/ou sous pression des substrats.
• Interfaces de gestion des gaz et fluides compatibles avec précurseurs PbX2 et CsX, commandes de processus et journalisation des paramètres.
• Conception facilitant la maintenance, le remplacement de modules et l'évolution fonctionnelle.

Contraintes d'implantation et dimensionnement

• Empreinte physique optimisée et mesurée : outil ≤ 6,5 m × 3,0 m × 2,5 m; emballage maximal 4,8 m × 3,0 m × 3,0 m.
• Exigences d'intégration dans un environnement de salle propre et d'interfaces fluides/électriques documentées.

Sécurité et conformité

• Identification et gestion des risques liés à l'électricité, produits chimiques, pression, bruit et températures.
• Dispositifs de verrouillage et consignation (LOTO), arrêt d'urgence, connexions de service (N2 ou air comprimé) et protections conformément aux règles d'exploitation et de sécurité.

Documentation, essais et livrables

• Fourniture de dossiers techniques et de maintenance en français (notices d'installation, d'exploitation, de sécurité et de maintenance).
• Dossier de montage, protocole d'essais, FAT/SAT et procès-verbaux de réception avec traçabilité des essais.
• Tableaux de pièces détachées et consommables, propositions de contrats de maintenance et options de garantie.

Formation et maintenance

• Formation opérationnelle et maintenance destinée à 5 personnes : exploitation, maintenance de premier niveau et maintenance avancée (contenu et durées à préciser dans l'offre).
• Garantie et prestations de maintenance post‑garantie proposées (maintenance préventive et corrective, options de Full Service sur au moins 5 ans possible).

Exigences environnementales liées à l'équipement

• Mesures d'efficience énergétique et modes faible consommation/standby, facilités de gestion des déchets et durabilité des matériaux.