Bâti de dépôt PECVD pour couches minces
Fiche synthétique du marché public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.
Synthèse des prestations fournies
Description générale
- Fourniture d'un bâti de dépôt inductif PECVD complet capable de déposer SiNx:H, SiOx:H, SiOxNy:H et a‑Si:H, livré avec garantie légale 1 an.
- Système livré avec sas de transfert ventilé par azote, hublot de visualisation et caméra de contrôle.
Spécifications de dépôt et performances attendues
- Vitesses minimales : ≥ 20 nm/min pour a‑Si:H ; ≥ 50 nm/min pour SiNx:H et SiOx:H.
- Contrôle cinétique : stabilité ±5% dans les gammes lente et rapide.
- Uniformité cible : ≤ ±5% sur l'ensemble de la surface.
- Capacité traitement : échantillons de quelques cm² jusqu'à plaquettes de 200 mm de diamètre ; substrats jusqu'à 1 mm d'épaisseur.
Chambre, pompage et gaz
- Chambre compatible avec precurseurs corrosifs/explosifs (CF4, NH3, SiH4) et lignes de gaz séparées pour dépôts et nettoyage.
- Pompage : abaisser la pression jusqu'à 10^-2 mbar en ≤ 5 minutes.
- Précurseurs mentionnés : SiH4 (dilué), NH3, N2O, Ar, N2.
Logiciel, automates et sécurité
- Logiciel de contrôle avec droits utilisateur et administrateur, fonctions de séquençage pour enchaînement de dépôts successifs, sécurité et robustesse opérationnelle.
- Conformité électrique et CEM selon normes européennes (230 V mono / 400 V tri selon besoin) et marquage CE.
Tests, qualification et documentation
- Tests usine (factory tests) et protocoles de réception : dépôts pleine plaque 4", vérification vitesse de dépôt, stabilité cinétique, indice de réfraction et uniformité.
- Fourniture de la documentation complète (installation, fonctionnement, schémas, automates, manuels FR/EN, sécurité) et des instructions d'alimentation fluides/électrique/empreinte au sol.
Installation, formation et services associés
- Mise en service sur site, connexion électrique et utilités nécessaires, essais de réception et protocole d'admission.
- Formation minimale de 5 utilisateurs en phase de réception, prise en main logiciel et maintenance de premier niveau.
- Possibilité de variantes et prestations supplémentaires (PSE) chiffrables séparément.
Maintenance et garantie
- Garantie standard 12 mois incluant maintenance corrective et mises à jour logicielles pendant la période de garantie.
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Critères d'évaluation
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