Acquisition d'un évaporateur par canon à électrons avec sas de chargement
Evaporateur par canon à électrons avec sas de chargement
Equipement principal
- Fourniture d'un système d'évaporation par canon à électrons avec sas de chargement (load-lock) pour dépôt de couches métalliques.
- Enceinte de dépôt en acier inoxydable : au moins 2 hublots, éclairage interne, grande porte d'accès et surveillance visuelle pendant opérations.
Canon à électrons et sources d'évaporation
- Canon à électrons refroidi par eau, alimentation 10 kW, haute tension 10 kV.
- Ensemble de creusets : 10 creusets (8 × 15 cc + 2 × 40 cc) avec indexeur pour repérage et sélection des creusets ; capot supérieur amovible.
Gestion des substrats et manipulation
- Porte-substrats et palettes conçus pour le déplacement et le soutien des substrats durant le dépôt.
- Bras de transfert et dispositifs d'accessibilité pour maintenance et remplacement de pièces.
Vide, pompage et mesure
- Système de pompage et gestion du vide de l'enceinte adapté aux processus d'évaporation par canon à électrons.
- Mesurage d'épaisseur in situ (système de mesure d'épaisseur) et dispositifs d'écrans/protections pendant les opérations.
Gaz, dégazage et traitements complémentaires
- Lignes de gaz nécessaires au procédé et prestations associées de dégazage/étuvage pour traitement des dépôts.
Pilotage, automatisation et sécurité
- Fourniture du système de pilotage (logiciel et interfaces) pour contrôle des processus, réglages et séquences automatisées.
- Systèmes d'écrans de protection et exigences de sécurité électrique et procédurale.
Maintenance, pièces et documentation
- Fourniture de pièces détachées prévues, accessibilité pour maintenance et documentation technique.
- Modalités d'assistance, délais d'intervention et disponibilité de pièces à préciser dans l'offre.
Vérifications, essais et formation
- Réception en usine (FAT) et réception définitive après tests sur site (SAT) : tests d'uniformité des dépôts, autres tests de dépôt et tests de gravure.
- Formation du personnel à l'exploitation et à la maintenance de l'installation.
Prestations supplémentaires éventuelles (facultatives)
- PSE n°1 : Oxydation statique et traitement UV-ozone dans le sas.
- PSE n°2 : Chauffage du porte-substrat.
- PSE n°3 : Tourelle 6 quartz pour mesure.
- PSE n°4 : Extension de garantie d'une année supplémentaire.
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Critères d'évaluation
| Pondération | Critère |
|---|---|
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Visite de site
Date(s)
Visites possibles jusqu'au 03/07/2026, créneaux 08:00-17:00
Lieu
Sur site IEMN (prise de rendez-vous via la plateforme PLACE)
Modalités
Prise de contact et réservation via le module de questions de la plateforme PLACE; CNRS peut ajouter des créneaux supplémentaires.
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