Acquisition de bâti PECVD pour dépôt de couches minces

Chambre, manipulation des échantillons et compatibilités

• Acceptation d’échantillons depuis quelques cm² jusqu’à plaquettes standard 200 mm (4'') ; possibilité de dépôts sur wafers silicium et plaques verre/quartz jusqu’à 1 mm d’épaisseur.
• Hublot de contrôle optique et conditions de température de fonctionnement jusqu’à 100–300 °C.
• Système de pompage permettant d’atteindre une pression de base de 10^-2 mbar en ≤ 5 minutes.

Gaz, distribution et interfaces

• Coffret de distribution gaz comprenant au moins six lignes : SiH4, NH3, N2O, N2, Ar et un mélange CF4/O2 pour nettoyage ; compatibilité CF4/H2O/NH3/N2O/Ar.
• Lignes électron-polies et connecteurs VCR 1/4" ; gestion des purges et procédures de remise à pression atmosphérique après chaque étape.

Sécurité, alimentation et conformité

• Protections pour gaz dangereux, générateurs RF et vide ; conformité CE et conformité électrique/CEM (230 V 50 Hz monophasé et 400 V 50 Hz triphasé selon configuration).
• Protocoles de nettoyage par plasma (CF4/O2) et procédures de sécurité documentées.

Contrôle logiciel et automatisation

• Logiciel avec double niveaux d’accès (utilisateur/administrateur), capacité à enchaîner automatiquement dépôts de matériaux différents sur un même échantillon, et gestion des droits d’accès.

Réception, tests et qualification

• Phase de tests usine : exécution et fourniture de séries de procédés initiaux pour vérification fonctionnelle.
• Phase de réception sur site : exécution de procédés standards (dépôt pleine plaque 4'') et tests de performance (uniformité, vitesse de dépôt, indice de réfraction) sur substrats fournis par le laboratoire utilisateur.
• Remise des résultats de tests et procédures de qualification fonctionnelle.

Formation, documentation et livrables

• Installation, mise en service et essais de performance.
• Formation des utilisateurs à l’exploitation et à la maintenance courante lors de la réception.
• Documentation technique et opérationnelle fournie en français et anglais : manuels d’installation, d’utilisation, de sécurité et de maintenance, schémas et procédures.

Prestations optionnelles et périphériques (PSE)

• Prise en compte d’équipements complémentaires suggérés (sas de transfert, diagnostics plasma, polarisation, portes-substrats) avec modalités de chiffrage distinctes.
• Fourniture des protocoles fonctionnels et des informations de raccordement électrique et logiciel à démontrer lors de l’installation.