Acquisition d'un système de plasma atmosphérique
Description technique
Plasma thermique et source RF
- Génération par bobine RF d'une puissance maximale d'environ 6 kW.
- Température de fonctionnement cible ≈ 10 000 K, stabilité compatible avec des expérimentations jusqu'à 1 heure.
Introduction et gestion des poudres
- Système d'injection de poudres capable de traiter des granulométries jusqu'à 100 µm.
- Plage d'alimentation massique ≈ 0,01 g/min à 1 g/min ; flux contrôlable par ordinateur avec stabilité de l'ordre de ±0,01 g/min.
- Dispositif anti-bouchage, possibilité d'injection en solution aqueuse en option, et surveillance informatisée du débit de matière.
Chambre de condensation et vide
- Chambre sous vide avec pompe (pompe rotative) permettant une pression résiduelle d'environ 100 Pa en absence de plasma.
- Extension ajustable du plasma pour contrôle du gradient thermique et influence sur la nucléation homogène en zone de condensation.
- Fenêtres résistantes (quartz ou saphir) pour diagnostics optiques.
Contrôle des gaz et pression
- Orifices, vannes et régulateurs pour Ar (plasma), H2, O2, N2 et gaz de contrôle redox.
- Plage de pression de fonctionnement stable indiquée entre 2 et 100 kPa (possibilité de fonctionnement à pression plus faible à préciser).
- Panneau de contrôle pour réglage des débits et de la pression, interface de commande informatique pour enregistrement et pilotage.
Mesures et instrumentation
- Surveillance spectroscopique par OES (optical emission spectroscopy) pour mesures directes du plasma et des vapeurs.
- Capteurs de température (thermocouples) dans les zones froides.
- Système de mesure et d'enregistrement des débits gaz et matière.
Refroidissement et matériaux
- Refroidissement par eau (chiller) dimensionné pour maintenir l'extérieur de l'enceinte < 100 °C.
- Dispositions de prévention de corrosion et possibilité d'installations de refroidissement additionnel si nécessaire.
Dimensions et architecture d'implantation
- Conception adaptée à une salle d'environ 2,70 m de hauteur et 4 × 5 m² de surface au sol (hors cuves de gaz positionnées à l'extérieur).
Vérification, tests et admission
- Tests en usine et essais d'installation sur site avec comptes rendus en anglais.
- Procédure d'admission/contrôle de conformité avec période de vérification pouvant aller jusqu'à 60 jours calendaires.
Formation, documentation et assistance
- Formation utilisateur organisée après mise en service.
- Documentation complète à fournir : schémas, plans de maintenance, manuels d'utilisation et consignes de sécurité en anglais.
- Garantie minimale de 12 mois couvrant pièces, main-d'œuvre et frais de déplacement ; intervention sous 72 heures et support téléphonique/mail durant les heures ouvrables.
Transport, emballage et installation
- Emballage, transport, dédouanement et livraison/installations à la charge du fournisseur ; installation complète et mise en service sur site incluse.
Assurance et responsabilité
- Assurance responsabilité civile à fournir par le titulaire ; responsabilité du titulaire pour dommages liés à l'exécution.
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