Équipement de dépôt pour remplissage métallique de vias 300 mm

Objet fonctionnel

Fourniture d'un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias pour wafers 300 mm, conçu pour intégration en environnement salle blanche.

Architecture et modules principaux

Front-End Module (FEM) : chargement FOUP, mappage automatique des wafers, pré-alignement configurable.
Handling Module (HM) : transfert automatique des wafers entre modules, fiabilité validée par tests (marathon 1000 transferts sans échec).
Chambre CVD dédiée au dépôt de tungstène à 400 °C ou moins.
Chambre de dégazage / préparation de surface avec chuck chauffable jusqu'à 350 °C.
Gestion FOUP purgés N2 et ports de chargement pouvant fonctionner en mode purge ou mode standard; capacité des stations de chargement : 2 ou 3 stations acceptant FOUP jusqu'à 25 wafers.
Empreinte au sol réduite (small footprint).

Performances, interfaces et conformité

Interfaces conformes aux standards SEMI et systèmes INFOPAD configurables selon exigences de contamination (FEOL/BEOL/packaging).
Exigences de manipulation : tests de charge et de friction sur éléments mobiles.
Conformité machine : marquage CE et respect des directives européennes applicables (sécurité machine, CEM, basse tension).
Analyses de risques et architecture sécurité selon NF EN ISO 12100 et ISO 13849-1.

Environnement process et propreté

Mini-environnement avec surpression > 1 Pa, contrôle des débits d'air, performance des FFU et maîtrise des particules et ESD.
Maîtrise des émissions chimiques : objectif réduction des COV < 50 ppb.
Compatibilité avec classes de propreté (référence normative mentionnée) et exigences de clean concept ; formation au comportement en environnement propre.

Livraison, installation, qualification et documentation

Livraison et emballage adaptés à installation en salle blanche (conditions transit et déballage spécifiques).
Montage, mise en service et essais sur site avec procédures d'acceptation (FAT, SAT), démonstrations de fonctionnement et rapports de tests de qualification des procédés (tests de dépôt et remplissage de vias).
Fourniture de documentation technique complète : manuels d'utilisation, sécurité, maintenance, plans, rapports d'essais, procédures de calibration.

Services associés et options

Formation des utilisateurs et du personnel de maintenance (sessions et supports enregistrés).
Contrats de maintenance proposés : préventive, curative, full service ; fourniture de pièces de rechange et niveaux de service à préciser.
Options matérielles et services additionnels au choix : échangeurs thermiques / refroidisseurs, transformateur d'alimentation, extension de garantie, UPS, etc.

Exigences électriques et bâtiment

Adaptation au réseau électrique industriel : 230 V mono/phase, 400 V tri ; possibilités d'UPS et transformateur selon besoin ; conformité aux règles NF EN (références normatives citées pour transformateurs/alim).

Tests et garanties

Réalisation de tests en usine (FACTORY ACCEPTANCE TESTS) puis vérifications et essais après installation.
Garantie et modalités de maintenance à définir (durées et conditions d'extension disponibles en option).

Tous les détails du marché

Gagnez du temps, toutes les infos des documents sont déjà analysées: cahier des charges, infos clés, budget, contact, etc

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