Fourniture d’un système d'inspection optique compatible 100, 150 et 200 mm

Manipulation, ports et conformité mécanique

• Load ports pour 100/150/200 mm avec mécanismes d'interverrouillage et verrouillage d'airlock conformes aux exigences de sécurité (interlocks empêchant le transfert si portes ouvertes).
• Options de préhension : vacuum, Bernoulli et méthodes mécaniques selon exigences de préservation des surfaces. Surfaces de contact dissipatives/anti‑contamination et traitements spécifiques pour limiter rayures et contamination particulaire/métallique.
• Exigences mécaniques : tolérances de bow/warp jusqu'à ~500 µm, plage de masses wafers typique 26–256 g, tests de type marathon pour valider longévité et répétabilité des manipulations.

Capacités optiques et logicielles

• Détections et mesures : détection automatique de défauts de surface (slip lines), haze mapping et corrélations haze/roughness, mesures d'épaisseur automatisées (algorithmes d'ajustement), extraction et export de recettes.
• Fonctions logicielles : station OFFLINE pour génération et retraitement des données, export des résultats et défauts au format KLARF, compatibilité d'export pour outils d'analyse (ex. KLARITY), génération et export de recettes réutilisables.
• Livrables logiciels : licences de contrôle et d'analyse, paquet PC hors salle blanche pour traitement hors ligne, documentation des formats d'export et des APIs d'intégration.

Interfaces et standards d'intégration

• Conformité SEMI pour interfaces FOUP/loadports (références G1.x–G2.x et autres standards indiqués), interconnexion avec systèmes de transport de wafers et alignement GPI/FOUP.
• Interfaces électriques et fluidiques documentées via schémas PID, supports pour intégration au Yield Management System et options d'intégration réseau/IT pour reprise de données.

Mini‑environnement, climatisation et gestion des effluents

• Conception compatible contrôle particulaire ISO 14644, surveillance particulaire en mode statique et dynamique, gestion de la contamination métallique et contrôle ESD (<100 V/inch autour zones sensibles) avec surfaces dissipatives et solutions d'ionisation si nécessaire.
• Paramètres d'exploitation et support fluide : gestion thermique adaptée (contrôles température et humidité fournis par l'infrastructure), dispositifs de captation et traitement des effluents gazeux/odeurs.

Sécurité et conformité réglementaire

• Respect des directives applicables (notamment exigences sécurité machine et gardes pour mouvements robotisés), évaluation des risques liés aux lasers ou autres sources si applicables, instructions opérationnelles en langue française.

Installation, validation, formation et maintenance

• Prestations d'installation, montage, essais et mise en service avec protocoles de réception et procès‑verbaux de réception.
• Formation : sessions pour exploitation (8 personnes), maintenance 1er niveau (4 personnes) et maintenance avancée (2 personnes) ; durées à préciser par le fournisseur.
• Maintenance : offres de maintenance préventive et corrective, disponibilité et niveaux de service pendant période de garantie, options d'extension de garantie et coûts annuels de full service ; fourniture de pièces détachées et fiches coûts associés.

Documentation et livrables

• Documentation en formats électronique et papier : manuels d'utilisation, manuels de maintenance, plans et schémas PID, fiches techniques, fichiers de configuration et procédures d'installation/qualification, livrables de pré‑installation.

Critères de performance supplémentaires

• Indicateurs de disponibilité (MTBF/MTTR) et topologie d'installation à fournir; conformité aux exigences d'éco‑conception et information sur consommation énergétique et gestion du cycle de vie des pièces.