Système de co-évaporation thermique sous vide

Fonction principale

Fourniture d’un système de co-évaporation thermique sous vide comportant quatre sources d’évaporation thermiques pouvant fonctionner simultanément ou séquentiellement.
Fonctionnement en vide secondaire, pompe primaire + pompe turbomoléculaire, bypass automatique entre pompes et capteurs de pression couvrant de l’atmosphérique jusqu’au vide recherché.

Sources et contrôle de dépôt

Quatre sources thermiques ~10 cm³ chacune, plage de température 200 °C–1500 °C.
Chaque source équipée d’une balance quartz dédiée pour mesure de flux ; modes de contrôle : puissance, température ou flux.
Minimisation du crosstalk entre sources et tolérances de stabilité (P/T/F) sur périodes d’au moins 15 minutes.
Shutters individuels en option pour les balances quartz.

Porte-substrat et mécanismes

Porte-substrat rotatif Ø300 mm, compatible substrats 25×25 mm à 200×200 mm.
Refroidissement du porte-substrat, contrôle de température 10 °C–80 °C.
Rotation 1–10 rpm, précision de positionnement ≈ 1°.
Mécanismes de chargement/déchargement et possibilités de masquage partiel via shutter.
Option de surveillance de la température réelle en surface (pyromètre) et option balance quartz fixée au support.

Performances de dépôt attendues

Vitesse de dépôt 0,001–10 nm/s (exemple mentionné pour PbI2) avec variations ≤ 1% sur 15 minutes.
Homogénéité d’épaisseur : déviation ≤ 5 % sur l’ensemble du substrat.
Crosstalk Fj/Fi < 10 % quand une autre source est éteinte.
Objectifs de vide : atteindre ≤ 5×10⁻² mbar en 5 minutes et ≤ 1×10⁻⁵ mbar en 30 minutes ; opération à P < 1×10⁻⁶ mbar.

Interface de contrôle et informatique

Interface homme‑machine en modes manuel (avec autotune PID pour les sources) et automatique (exécution de recettes prédéfinies).
Enregistrement des paramètres et export des données en CSV.
Unité de contrôle sous Windows, authentification Active Directory, réseau dédié sans accès Internet ; documentation et procédures réseau à fournir.

Tests, documentation et formation

Réalisation de FAT (Factory Acceptance Testing) et SAT (Site Acceptance Testing) avec livrables de rapports de tests.
Fourniture de notice d’utilisation, manuel de maintenance, schémas électriques, documents de sécurité et documentation IT.
Formation opérateurs et maintenance (premier niveau et niveau avancé) selon modules définis.

Sécurité et conformité

Intégration de mesures de sécurité : E‑stop, procédures lockout/disjonction, gestion gaz (azote), prévention incendie, conformité ATEX si applicable.
Fourniture des états de conformité et certificats requis.

Accessoires et options chiffrés séparément

Options listées : shutters individuels pour balances quartz ; surveillance température surface ; balances quartz fixes ; masquage substrat ; modules de formation et transport inclus selon conditions.

Tous les détails du marché

Gagnez du temps, toutes les infos des documents sont déjà analysées: cahier des charges, infos clés, budget, contact, etc

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