Système de traitement des gaz effluents

Fourniture, installation et mise en service d’un système complet destiné aux gaz hydrures et organométalliques issus de réacteurs d’épitaxie. Le CCTP vise les effluents de 3 réacteurs; son contexte décrit par ailleurs 2 réacteurs EPVOM, avec les débits ci-dessous. Cette différence de périmètre est à clarifier.

Les débits indiqués dans le contexte sont : H₂, 150 slm; NH₃, 100 slm; précurseurs organométalliques, < 1 slm; SiH₄, < 0,2 slm; N₂ de purge et de dilution, 100 slm.

Performances et sécurité

• Élimination visée des H₂ et NH₃ avec une efficacité minimale de 99 %; rejets H₂ < 10 ppm, NH₃ < 30 mg/m³ et NOₓ < 350 mg/m³.
• Concentration de H₂ maintenue < 1 % (limite inférieure d’explosivité); température de sortie des gaz < 60 °C; pression de travail 1 bar absolu ± 10 %; niveau sonore < 70 dB(A) à 1 m.
• Chambre de combustion/pyrolyse, échangeur thermique compatible avec l’eau recyclée, armoire électrique certifiée ATEX avec PLC de sécurité et capteurs de débit, température et pression. Conformité ATEX (zone 2 pour H₂) et SEMI S2/S6; détection des fuites H₂ et NH₃, arrêts automatiques.

Fourniture et interfaces

Le titulaire fournit les notices d’installation, de mise en service, d’utilisation et de maintenance, les schémas électriques et hydrauliques incluant le refroidissement, les certificats CE, ATEX et SEMI S2/S6, ainsi que les FDS de H₂, NH₃ et N₂. Documentation en français ou en anglais.

L’implantation prévoit un espace de 1,3 × 1,0 × 2,0 m, hors tuyauteries, un accès de 1,5 m de large sur 1,95 m de haut et une dalle béton dont la résistance est indiquée < 400 kg/m². Raccordement électrique 230 V AC / 50 Hz, 16 A; entrée gaz DN25 ou DN40 en inox 316L. Pour l’eau recyclée : débit jusqu’à 2 m³/h, entrée < 35 °C, ΔT 15 K et sortie d’eau < 60 °C; le point de raccordement est à préciser par le CRHEA.

Aucun raccordement au gaz de ville ou à un gaz combustible (butane, propane, etc.), aucune eau de ville — eau recyclée uniquement — et aucun laveur chimique utilisant des acides ne sont admis.

Essais, validation et formation

La mise en service comprend un essai d’étanchéité à 1,5 fois la pression de service pendant 1 heure, sans fuite détectée; des essais de performance H₂ (< 10 ppm pour 150 slm en entrée) et NH₃ (< 30 mg/m³ pour 100 slm en entrée); un essai du refroidissement (débit indiqué < 2 m³/h, ΔT 15 K, gaz en sortie < 60 °C) et des essais de sécurité aux seuils de 25 ppm NH₃ et 1 % LIE H₂, avec arrêt automatique et ventilation d’urgence. Le fonctionnement continu du système est également testé.

Après validation des essais par le CNRS-CRHEA, le titulaire remet les résultats et une attestation de conformité portant sur l’eau recyclée, l’absence de gaz combustible et l’absence de laveur chimique. Une formation de 2 jours (16 heures) pour 2 à 3 personnes intervient ensuite : composants et fonctionnement, gestion du circuit d’eau, démarrage et arrêt, réglages, maintenance préventive et corrective, remplacement des consommables et gestion des alarmes. L’admission définitive est prononcée après la formation.