Machine de nettoyage et de préparation de surface par plasma

Le marché porte sur la fourniture, la livraison, l’installation, la mise en service, la formation et la garantie d’une machine neuve de nettoyage et d’activation de surface par plasma, avec ses périphériques et accessoires. L’équipement doit être livré prêt à l’emploi, en salle blanche ISO 6, avec manutention, moyens de protection des locaux, expédition et assurance à la charge du titulaire. L’incoterm applicable est DDP Palaiseau.

Installation et contraintes d’intégration

L’équipement est implanté sur une surface disponible d’environ 1,75 m de longueur sur 1 m de largeur. Le titulaire fournit un plan d’installation précisant notamment l’encombrement coté, l’environnement requis, la résistance et la planéité du sol, les besoins électriques, pneumatiques, fluides, gaz, extractions, nuisances et contre-indications. Le raccordement final des servitudes est effectué par le C2N-CNRS en présence du titulaire.

La livraison comprend le déchargement au pied du camion, l’acheminement jusqu’à la zone d’installation et les moyens adaptés aux accès du site. Le monte-charge disponible mesure 1,8 m × 2,4 m × 2,55 m, avec une charge nominale de 2 500 kg ; l’accès extérieur au RDC haut mesure 1,76 m × 2,49 m et se situe à 4 m du sol. Le titulaire doit prévoir les moyens de manutention nécessaires lorsqu’ils ne sont pas disponibles sur site.

Matériaux, chambre et traitement plasma

La machine doit traiter des semi-conducteurs, verres et métaux, sous forme de substrats circulaires ou carrés, d’environ 0,5 cm jusqu’à des wafers de 6 pouces, et d’une épaisseur allant de quelques centaines de micromètres à plusieurs millimètres.

• Chambre en quartz ou verre borosilicate, compatible avec l’Ar, l’O2 et les gaz fluorocarbonés tels que le CF4
• Ouverture sécurisée sans déconnexion des lignes de gaz, avec vitre équipée d’un filtre de protection UV et RF
• Porte-substrat adapté aux matériaux, chauffant de la température ambiante à 150 °C avec mesure de température pendant le procédé
• Générateur RF de 13,56 MHz, d’une puissance maximale d’au moins 300 W, avec contrôle automatique de la puissance

Vide, pression et gaz

Le système comprend une pompe primaire sèche résistante aux gaz corrosifs, permettant d’atteindre un vide limite de 0,2 mbar en moins de 3 minutes. La pression doit être mesurable de la pression atmosphérique au vide limite ; la pompe est isolable pour permettre l’ouverture de la chambre sans arrêt et raccordée à un système de retraitement des gaz.

Le système de distribution comporte au moins trois lignes de gaz — O2, Ar et CF4 — équipées chacune d’un contrôleur de débit massique, ainsi qu’une ligne de purge et une ligne de remise à l’air. Les gaz doivent être identifiables sur les écrans de pilotage.

Pilotage et logiciels

Le pilotage s’effectue depuis un ordinateur industriel sous Windows 10 minimum ou équivalent, avec interface graphique conviviale. Le logiciel doit gérer des utilisateurs nominatifs multi-niveaux, les sécurités gaz, électricité et vide, les vannes, débitmètres, pompes, jauges et générateurs, ainsi que les paramètres de pression, débit et puissance.

Il doit permettre la création et le lancement de recettes, l’enregistrement des procédés, le suivi graphique des paramètres, les seuils d’alerte et de blocage, l’enregistrement des alarmes et anomalies, la mise en sécurité automatique, la consultation des historiques et l’archivage des procédés par utilisateur, ainsi que le suivi de la température du porte-substrat.

Vérifications, réception et livrables

Les vérifications comportent trois étapes : pré-réception sur le site du titulaire, réception provisoire sur le site du C2N-CNRS, puis réception définitive sur ce site. Les essais portent notamment sur les mouvements mécaniques, le pompage, le vide limite, les débits de gaz, les plasmas Ar, O2 et CF4, la puissance RF de 0 à 300 W, les erreurs et la mise en sécurité automatique. Les coupures d’urgence ne doivent provoquer aucune détérioration et l’équipement doit redémarrer normalement.

Le titulaire remet les rapports détaillés des essais sous 10 jours ouvrés. La réception définitive est subordonnée au respect strict des paramètres et performances. En cas de rejet, les nouveaux essais sont à la charge du titulaire et réalisés sans surcoût ; les substrats nécessaires sont alors fournis par le titulaire.

Les livrables comprennent notamment la documentation technique globale et de fonctionnement, les plans électriques, les schémas et vues éclatées avec références des pièces, le manuel de maintenance, les rapports d’essais, les supports de formation, une recette de gravure utilisant les gaz disponibles, ainsi qu’une notice d’utilisation et la documentation numérique et papier en français, avec documentation technique également admise en anglais.

Formation, garantie et service après-vente

La formation intervient après la mise en service définitive, pendant au moins 2 jours, pour 4 personnes. Elle couvre le logiciel, les modes manuel et automatique, la création de recettes, la maintenance de premier niveau, la gestion des pannes et alarmes, ainsi que la sécurité des utilisateurs.

La garantie minimale de 12 mois à compter de l’admission définitive couvre la main-d’œuvre, les pièces détachées, le transport, les déplacements et le séjour liés aux réparations, hors consommables. Le support technique gratuit et illimité est accessible par téléphone non surtaxé et courriel pendant les jours ouvrés, avec un délai de réponse inférieur à 48 heures.

Le délai d’intervention sur site en cas de panne est inférieur ou égal à 10 jours ouvrés. La mise au point ou la réparation doit intervenir dans un délai d’un mois. Au-delà de 30 jours d’immobilisation pour réparation, une solution de remplacement équivalente doit être expédiée dans un délai maximal d’un mois après réception du matériel défectueux. Les mises à jour et changements de version des logiciels de pilotage et de traitement des données sont inclus pendant la garantie, et les anomalies logicielles doivent être corrigées gratuitement dans un délai maximal de 2 mois. Les pièces détachées usagées et consommables captifs doivent rester disponibles pendant au moins 10 ans à compter de l’admission de l’instrument.