Cryostat de caractérisation électrique infrarouge
Description technique du cryostat
Fonctionnalité générale
- Système de caractérisation électrique cryogénique destiné à des mesures sur wafers (6 pouces / 7 pouces selon configuration).
- Mesures sous vide et à basses températures avec gestion thermique et isolation entre étages.
Mécanique et porte-échantillon
- Porte-échantillon « moving cold holder » démontable, adapté aux wafers 6"/7".
- Levier de refroidissement et isolation thermique, poignée et couvercle conçus pour démontage et manipulation aisés.
- Ouverture optique sur le couvercle : ouverture claire d'environ 60 mm ; pas de connecteurs sur le couvercle.
Mouvements et translations
- Plan de travail horizontal d'au moins 120 mm pour X/Y.
- Résolution de translation X/Y en boucle fermée : 50 nm.
- Charge maximale horizontale : 30 N.
- Course verticale Z : 20 mm, charge verticale minimale : 10 N.
- Deux moteurs Z et mécanismes de translation XYZ adaptés à usage cryogénique.
Vide et cryogénie
- Fuite maximale spécifiée ≤ 10⁻⁸ mbar·L·s⁻¹.
- Connexion pompe DN63 ISO-K ; capacité à atteindre ≤ 10⁻⁵ mbar en < 2 heures avec pompe dédiée (possibilité d'options de pompage additionnelles).
- Plage de température 4–325 K ; fonctionnement compatible LN2 et LN2/He ; isolation thermique inter-étages.
- Capteurs et contrôleurs de température compatibles avec une API de contrôle (contrôle logiciel détaillé demandé).
Électrique, feedthroughs et câblage
- Connexion électrique de l'échantillon via câble triaxial : surface reliée à la borne « force » d'un câble triaxial, passe-feedthrough avec connecteur triaxial femelle.
- Résistance entre surface et borne « force » < 1 Ω et isolation électrique renforcée.
- Prévision et disposition multiple de traversées (feedthroughs) : emplacements variés pour éviter l'encombrement ; préconisations pour 32 broches, 8 broches pour moteur Z, connexions chauffages/sense, blindages et flanges aveugles.
Contrôle, logiciels et interfaces
- Drivers et logiciel de contrôle fournis.
- API disponible pour contrôle à distance en Python.
- Interface de pilotage des moteurs, contrôle thermique et acquisition des capteurs incluse.
Options et accessoires
- 7 options listées : régulation thermique indépendante, dewar et cannes de transfert, système de pompage additionnel, mesure de température du bloc moteur près du porte-échantillon, câbles/connecteurs 32 broches, câble triaxial isolé et connectique, option transport DAP.
- Le fournisseur doit détailler les caractéristiques et conditions de levée des options.
Documentation, essais et conformité
- Fourniture complète de documentation : manuel technique et opératoire en français, dossier d'installation, procédures d'essais et de réception, dossier environnemental.
- Essais et vérifications à réaliser en usine et lors de la mise en service sur site avec protocoles et critères d'acceptation.
- Conformité aux directives applicables (sécurité machines, CEM, basse tension, etc.) et fourniture de déclaration CE et certificats de conformité.
Livraison et conditionnement
- Solutions de transport et protection adaptées au matériel cryogénique sensible ; conditionnement pour manutention et transfert. Incoterms et modalités de transport à préciser dans l'offre.
Exigences qualité et maintenance
- Propositions d'évolutivité, réparabilité et mesures d'optimisation de la durée de vie utile.
- Formation associée et proposition de maintenance préventive/documentation de maintenance.
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Échantillons
Modalités de livraison
Fournir, dans le cadre de l'offre technique, des échantillons physiques ou des descriptions/photographies détaillées des composants/fournitures demandés.
Produits à fournir
- Échantillons, descriptions ou photographies des fournitures
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