Réacteur CVD de dépôt en phase vapeur

Fourniture d’un équipement neuf marqué CE, comprenant un four tubulaire horizontal avec tube en quartz de 50 mm de diamètre et d’environ 1,0 m de longueur. La zone chauffante doit atteindre 1100 °C avec un contrôle de température de ±1 °C; la température et les rampes de chauffage et de refroidissement sont pilotables par logiciel.

Configuration et contrôle du procédé

• Module plasma radiofréquence à couplage inductif, puissance d’au moins 300 W.
• Au moins trois lignes de gaz avec débitmètres massiques : Ar/N₂ à 200 sccm, H₂ à 200 sccm et CH₄ à 100 sccm; valves automatiques contrôlées par ordinateur.
• Bulleur en acier inoxydable pour le précurseur liquide TiCl₄ et ligne de purge à l’argon pour éliminer l’humidité des lignes; piège à froid en sortie du four.
• Contrôle automatique de la pression par vanne papillon motorisée et manomètre d’une capacité de 10 Torr; pompe à vide primaire atteignant au minimum 10⁻² mbar, avec kit de dilution de l’hydrogène en sortie.

L’équipement comprend des détecteurs de fuite H₂ et HCl avec arrêt d’urgence automatique, une enceinte confinée et une sortie de gaz raccordable à une hotte extractive. Un PC et une interface utilisateur adaptée (par exemple LabVIEW ou équivalent) commandent le four, les gaz, la pression, le plasma et les valves.

Livraison, installation et formation
La livraison est prévue au plus tard dans les 6 mois suivant la notification. Les portes d’accès mesurent 2,00 m de hauteur et 1,30 m de largeur; le site ne disposant pas de baie de livraison surélevée, le camion doit être équipé d’un hayon élévateur. Livraison sur rendez-vous entre 8 h et 12 h ou entre 14 h et 17 h. Livraison, déchargement, installation, transport, assurance, taxes éventuelles et stockage jusqu’à l’installation finale sont à la charge du titulaire, selon l’Incoterm DDP, sans surcoût; les risques de transport et de livraison lui incombent. Installation, mise en service et formation sont à réaliser dans le mois suivant la livraison.

La mise en service comprend des tests de fonctionnement et le calibrage de chaque élément, y compris informatique. Le titulaire remet le procès-verbal de mise en ordre de marche et informe le responsable des éventuelles vérifications réglementaires et de leur périodicité. Une formation sur site en anglais est prévue après la mise en service pour un maximum de 4 utilisateurs.

Documentation et admission
Les documents à remettre comprennent, en français et/ou en anglais, les fiches techniques et notes de calcul, schéma de principe, notice d’installation, rapports de montage et d’essais, rapport de mise en service, instructions d’utilisation et de maintenance avec vérifications périodiques, ainsi que le catalogue des pièces détachées. Le manuel du manipulateur est en anglais et peut être fourni sous forme numérique.

L’admission comporte une vérification d’aptitude puis une vérification de service régulier. L’essai d’aptitude comprend la vérification de la croissance d’un film mince de carbone sur substrat de silicium. Pour chaque étape, le bénéficiaire dispose de 60 jours pour les vérifications, puis d’au plus 15 jours pour formaliser et notifier sa décision; à défaut, la vérification concernée est réputée positive. Une aptitude positive ouvre la vérification de service régulier. En cas de résultat négatif, le titulaire effectue les corrections requises et les vérifications peuvent être répétées.

Garantie et SAV
Garantie d’un an, hors consommables, à compter de l’admission après vérification de service régulier. Elle couvre au minimum, sans surcoût, pièces, main-d’œuvre et déplacements, y compris l’échange standard illimité des pièces défectueuses, ainsi que le conditionnement et le transport nécessaires à une réparation chez le titulaire. Les mises à jour mineures et majeures des logiciels et la documentation correspondante sont également incluses. L’accès gratuit à un technicien qualifié par téléphone non surtaxé ou par courriel est assuré les jours ouvrés de 9 h à 17 h, heure française. Si l’intervention est nécessaire, son délai ne peut dépasser 60 jours calendaires; l’approvisionnement des pièces ne peut dépasser 30 jours calendaires. Si une réparation excède ce délai, le titulaire indique son échéance et propose rapidement une solution temporaire ou un mode dégradé; les possibilités de prêt d’un appareil sont à préciser.