Profilomètre optique confocal laser

Le marché porte sur un profilomètre optique confocal laser, ses logiciels, ses accessoires et les prestations nécessaires à sa livraison, son installation et sa mise en service. L’équipement doit permettre la reconstruction de profils 3D, le contrôle dimensionnel de microstructures et la mesure de nanotopographie et de rugosité de surface.

• Microscope confocal en défocalisation de lumière blanche : répétabilité en Z <30 nm avec objectif 50X et résolution d’affichage en Z <1 nm.
• Mode balayage sous illumination laser UV : répétabilité en Z <20 nm avec objectif 50X et résolution d’affichage en Z <1 nm. Les objectifs doivent couvrir la gamme 5X à 50X, avec les objectifs 5X, 10X, 20X et 50X.
• Interféromètre en lumière blanche pour la nanotopographie et la rugosité : répétabilité de topographie en Z <0,1 nm, résolution d’affichage en Z <0,02 nm et objectifs 10X et 50X.

La platine motorisée XY doit avoir un débattement minimal de 100 × 100 mm. Le revolver motorisé doit comporter au moins six emplacements et l’équipement au moins six objectifs. Sont également requis une compensation des vibrations et l’assemblage d’images pour couvrir une surface supérieure au champ d’un objectif.

Le CCTP indique pour l’axe Z un débattement ≤60 mm, tandis que le cadre de réponse technique présente une exigence minimale Z ≥60 mm ; ces indications sont contradictoires et méritent clarification.

Logiciels, livraison et installation

Le logiciel de contrôle pilote l’équipement, mesure les dimensions XY et les hauteurs Z, extrait des profils 3D dans des formats tels que STL ou OBJ, et mesure planéité et rugosité linéaire et surfacique. Il comprend une cartographie automatique grand champ à basse résolution pour localiser les zones d’intérêt. Une licence multiposte est prévue pour le logiciel d’analyse. Les mises à jour, nouvelles versions et corrections de bugs sont installées gratuitement pendant la garantie.

Le titulaire assure le transport, l’emballage adapté aux poids et volumes, le déchargement et le positionnement final. Il fournit l’outillage de transport, de manipulation et d’installation, et réalise l’installation sous la supervision de l’équipe technique du laboratoire. Il communique les interfaces à préparer et respecte les règles de sécurité applicables au site.

Formation, documentation et contrôles

Après l’installation, une formation en français, assurée par un formateur qualifié, est dispensée à trois personnels permanents du laboratoire pendant au moins une journée (7 heures). Deux jeux de documentation sont livrés, dont un en papier compatible salle blanche : notice et manuel d’utilisation en français, manuel de maintenance et mode opératoire, consignes de sécurité claires en français, ainsi que déclaration de conformité CE en français.

Un test d’acceptation en usine vérifie la conformité aux spécifications, le fonctionnement des composants, les performances générales et la documentation ; l’expédition intervient après réussite des tests. L’admission comprend notamment une mesure de planéité d’un substrat de silicium de 4 pouces et la mesure d’un échantillon du laboratoire en résine : réseau de plots de dimensions et période connues, dimensions latérales >2 µm, hauteur >100 nm et période >4 µm. Les mesures portent sur les dimensions latérales et verticales ainsi que la nanotopographie. Un contrôle de conformité par organisme agréé peut également être réalisé à l’initiative du CEA/CNRS ; les anomalies signalées sont corrigées par le titulaire.

Garantie et assistance

La garantie couvre les pièces matérielles, la main-d’œuvre, les déplacements couverts, les mises à jour logicielles et la remise en état ou le remplacement des éléments défectueux. L’assistance technique prévoit une première réponse sous 24 heures après contact par téléphone ou courriel ; en cas d’intervention sur place, le titulaire intervient au plus tard dans les 7 jours calendaires suivant la demande. En cas de retour pour réparation, le délai de réparation doit rester inférieur à 3 mois. Le candidat fournit la liste des pièces et consommables non couverts.