Microscope électronique à balayage et détecteurs analytiques
Description générale
Objet fonctionnel
Fournir un microscope électronique à balayage (MEB) équipé de détecteurs analytiques permettant l’observation topographique, chimique et cristallographique. L’équipement doit être stable, robuste, automatisable et utilisable en libre-service par un grand nombre d’utilisateurs.
Configuration mécanique et échantillons
- Chambre accueillant des échantillons jusqu’à 100 cm² et 5 cm de hauteur.
- Platine motorisée multi-axes (X, Y, Z, tilt, rotation) pilotable et programmable.
- Capacité d’imagerie pour échantillons très petits (≈1×1×1 µm) et pièces volumineuses.
Transfert d’échantillons
- Intégration d’un sas d’introduction et d’un système de transfert sous atmosphère protégée (inerte) ou sous vide (compatible type BAG MBraun Unilab).
- Maintien du vide/atmosphère contrôlée durant le transfert ; possibilité d’adapter via bride d’interface et test d’étanchéité.
Détecteurs et capacités analytiques
- Détecteurs d’électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE) intégrés en chambre.
- Détecteur EDX (optionnel ou intégré) pour spectres, profils et cartographies, quantification (PB‑ZAF, Phi‑Rho‑Z) et enregistrement de méthodes.
- Détecteur EBSD rapide et sensible pour indexation d’images de diffraction, prise en charge d’acquisitions à haut débit et options de stitching/mosaïque.
Performances d’imagerie et d’analyse
- Fonctionnalités d’autofocus et d’autocontraste/brightness pour obtenir des images exploitables en quelques minutes.
- Capacité d’observation sur une large gamme de tensions (1 kV à 15 kV) et courant d’émission élevé (≥ 40 nA) tout en préservant la résolution.
- Compromis adapté entre résolution d’image et qualité des acquisitions analytiques (cartographies et spectroscopie).
Pilotage informatique et logiciel
- Pilotage depuis un PC Windows avec affichage haute résolution (QHD) ; interface réseau dédiée (bulle réseau instrumentation) sans accès Internet direct.
- Logiciel d’acquisition et de post‑traitement EDX/EBSD avec licences hors‑ligne et/ou réseau ; sauvegarde des méthodes, export des données (spectres ponctuels, ROI, profils, cartographies) et gestion des droits utilisateurs (sessions novices/expert).
- Fonctionnalités avancées : stitching/mosaïque, traitements hors transformée de Hough, gestion des témoins pour quantification EDX.
Maintenance, documentation et réception
- Prestation de maintenance préventive et corrective, mises à jour logicielles, procédures de sauvegarde et télémaintenance sous contrôle.
- Documentation complète en français (installation, mise en service, exploitation, fiches dangers, consommation énergétique) et fourniture d’une liste de pièces détachées et disponibilité de stock.
- Réalisation d’essais et de tests de réception (SAT) sur site, consignation des résultats et formation opérationnelle et maintenance (niveau 1 et avancé).
Sécurité et conformité
- Conformité CE et conformité aux prescriptions applicables (sécurité électrique, ATEX si applicable, réglementation pertinente).
- Fourniture d’un plan de prévention et d’EPI, procédures de sécurité pour manutention et interventions.
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Critères d'évaluation
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