Microscope électronique à balayage et détecteurs analytiques

Objet fonctionnel

Fournir un microscope électronique à balayage (MEB) équipé de détecteurs analytiques permettant l’observation topographique, chimique et cristallographique. L’équipement doit être stable, robuste, automatisable et utilisable en libre-service par un grand nombre d’utilisateurs.

Configuration mécanique et échantillons

• Chambre accueillant des échantillons jusqu’à 100 cm² et 5 cm de hauteur.
• Platine motorisée multi-axes (X, Y, Z, tilt, rotation) pilotable et programmable.
• Capacité d’imagerie pour échantillons très petits (≈1×1×1 µm) et pièces volumineuses.

Transfert d’échantillons

• Intégration d’un sas d’introduction et d’un système de transfert sous atmosphère protégée (inerte) ou sous vide (compatible type BAG MBraun Unilab).
• Maintien du vide/atmosphère contrôlée durant le transfert ; possibilité d’adapter via bride d’interface et test d’étanchéité.

Détecteurs et capacités analytiques

• Détecteurs d’électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE) intégrés en chambre.
• Détecteur EDX (optionnel ou intégré) pour spectres, profils et cartographies, quantification (PB‑ZAF, Phi‑Rho‑Z) et enregistrement de méthodes.
• Détecteur EBSD rapide et sensible pour indexation d’images de diffraction, prise en charge d’acquisitions à haut débit et options de stitching/mosaïque.

Performances d’imagerie et d’analyse

• Fonctionnalités d’autofocus et d’autocontraste/brightness pour obtenir des images exploitables en quelques minutes.
• Capacité d’observation sur une large gamme de tensions (1 kV à 15 kV) et courant d’émission élevé (≥ 40 nA) tout en préservant la résolution.
• Compromis adapté entre résolution d’image et qualité des acquisitions analytiques (cartographies et spectroscopie).

Pilotage informatique et logiciel

• Pilotage depuis un PC Windows avec affichage haute résolution (QHD) ; interface réseau dédiée (bulle réseau instrumentation) sans accès Internet direct.
• Logiciel d’acquisition et de post‑traitement EDX/EBSD avec licences hors‑ligne et/ou réseau ; sauvegarde des méthodes, export des données (spectres ponctuels, ROI, profils, cartographies) et gestion des droits utilisateurs (sessions novices/expert).
• Fonctionnalités avancées : stitching/mosaïque, traitements hors transformée de Hough, gestion des témoins pour quantification EDX.

Maintenance, documentation et réception

• Prestation de maintenance préventive et corrective, mises à jour logicielles, procédures de sauvegarde et télémaintenance sous contrôle.
• Documentation complète en français (installation, mise en service, exploitation, fiches dangers, consommation énergétique) et fourniture d’une liste de pièces détachées et disponibilité de stock.
• Réalisation d’essais et de tests de réception (SAT) sur site, consignation des résultats et formation opérationnelle et maintenance (niveau 1 et avancé).

Sécurité et conformité

• Conformité CE et conformité aux prescriptions applicables (sécurité électrique, ATEX si applicable, réglementation pertinente).
• Fourniture d’un plan de prévention et d’EPI, procédures de sécurité pour manutention et interventions.