Microscope 3D pour observation et métrologie sans contact

Fonctionnalités optiques et mécaniques

• Table motorisée compatible wafers jusqu'à 300 mm ; observation possible sur substrats jusqu'à 200 mm via ports/platines adaptatives.
• Acquisition et reconstruction 3D automatique d'une surface définie ; mesures de rugosité, pente, volume, profil, hauteurs et diamètres de plots métalliques et couches minces.
• Objectifs motorisés et système de changement rapide d'objectifs ; déplacement X/Y motorisé de la platine ; focus automatique et correction de plan.
• Plage de taille / hauteur : prise en charge d'échantillons de quelques centaines de microns à au moins 35 mm de hauteur utile ; capacité d'analyse de motifs ≥ 2 µm.

Performances métrologiques et logiciels

• Mesures relatives avec tolérances demandées (ex. hauteurs/diamètres ±5% ou mieux ; répétabilité ≤2–3% selon procédure) ; mesures multi-points et alignement automatique.
• Reconstruction 2D/3D, génération et export de rapports métrologiques, gestion d'images ; gestion multi-utilisateurs et possibilité de portage sur réseau.
• Éclairage LED ou laser selon besoins d'inspection ; acquisition, stockage et traçabilité des jeux de données.

Exigences d'exploitation, sécurité et environnement

• Conception et fonctions assurant une utilisation en libre-service par environ 15 utilisateurs : contrôle des accès, gestion des erreurs de manipulation et sécurité opérateur intégrée.
• Conformité et exigences relatives à la sécurité machine et radiologique (références normatives demandées), exigences de propreté et compatibilité avec environnements de classe ISO.
• Exigences de performance énergétique, gestion des déchets et démonstration d'initiatives RSE dans l'offre.

Installation, formation, garantie et maintenance

• Conditions d'emballage et de livraison adaptées aux environnements propres (conditionnement spécifique, exigences de propreté pour salle blanche, modalités d'installation et de préparation du site).
• Formation des utilisateurs et documentation complète fournie à la livraison.
• Garantie contractuelle d'au moins 1 an avec intervention sous 48 heures ; maintenance préventive et corrective assurée au moins 10 ans, fourniture de pièces détachées et proposition de contrat de maintenance avec indicateurs de performance.

Options et accessoires

• Fourniture d'options et accessoires chiffrables séparément : objectifs supplémentaires, outils de calibration, platines/adaptateurs pour différents formats d'échantillons, modules logiciels complémentaires.