Machine de dépôt de couches minces

Fourniture d’une machine neuve destinée à réaliser des dépôts de couches minces sur des substrats compatibles, pour des travaux pratiques progressifs en optique et photonique. Le marché comprend les accessoires nécessaires à l’exploitation pédagogique, la livraison, le déchargement et la mise en place, l’installation, les raccordements prévus, la vérification du fonctionnement, les essais de mise en service, la formation, la documentation, la garantie et l’assistance technique.

Procédé et performances à décrire

Une technologie adaptée de dépôt de couches minces est attendue : le CCTP cite notamment le PVD par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique, et permet une technologie équivalente si son adéquation pédagogique est démontrée. Les applications visées comprennent les couches métalliques, réfléchissantes ou semi-transparentes, les revêtements optiques et l’étude de l’effet de l’épaisseur sur les propriétés optiques. L’aluminium et l’argent sont cités comme matériaux de dépôt, ainsi que l’or si la configuration le permet ; les matériaux diélectriques ou oxydes sont à préciser s’ils sont compatibles. Les matériaux dangereux ou soumis à précautions particulières doivent être signalés.

Le candidat doit décrire les procédés réalisables, les matériaux compatibles, les limites d’utilisation et les performances documentées. Pour la chambre, il précisera le volume utile, les dimensions maximales des substrats, le nombre de substrats par cycle, les matériaux constitutifs et les modalités de chargement/déchargement. Aucun seuil chiffré minimal n’est indiqué dans ces rubriques.

Le système de vide doit être dimensionné pour le procédé proposé. Sont à préciser : pompe primaire, éventuelle pompe secondaire, pression limite et pression de travail, temps d’accès aux conditions de dépôt, mesure de pression et besoins de maintenance. Les porte-substrats doivent convenir notamment aux lames et plaquettes de verre optique, petits miroirs et autres substrats compatibles ; dimensions admissibles, rotation éventuelle et limites géométriques sont à indiquer.

Le contrôle de l’épaisseur doit être décrit avec sa méthode, sa plage, sa résolution le cas échéant, sa précision ou incertitude, les réglages possibles et les limites. Une mesure en temps réel par quartz peut être proposée si elle est compatible avec le procédé. La commande doit permettre le réglage des paramètres, le suivi des variables principales, la gestion des séquences, l’affichage des alarmes et l’accès aux informations d’exploitation ; le candidat précisera aussi les licences logicielles et les possibilités de sauvegarde des paramètres.

Travaux pratiques et éléments complémentaires

Les activités pédagogiques prévues couvrent cinq thèmes : découverte du dépôt sous vide et préparation du substrat ; réalisation supervisée d’un dépôt ; mesure de transmission et étude de la réflexion ; comparaison de couches d’épaisseurs différentes et exploitation des résultats ; applications aux miroirs, traitements antireflets et composants optiques ou photoniques. Le candidat indiquera les activités réalisables avec la machine seule et celles nécessitant des accessoires ou instruments complémentaires.

Les accessoires nécessaires à l’exploitation doivent être présentés en distinguant les éléments inclus et optionnels. Ils peuvent notamment comprendre des porte-substrats, un jeu initial de matériaux, des consommables de démarrage, l’outillage de chargement, des éléments d’entretien et un moyen de contrôle de l’épaisseur s’il est disponible. Un spectrophotomètre ou un dispositif de mesure de réflexion et de transmission peut être proposé en option.

Installation, sécurité et accompagnement

Le titulaire fournit les informations nécessaires à la préparation de l’installation et à l’évaluation des risques : besoins électriques, dimensions et masse, dégagements, ventilation ou extraction, besoins éventuels en gaz, risques électriques, thermiques, liés au vide ou aux hautes tensions, précautions relatives aux produits et matériaux, mise en sécurité et arrêt d’urgence. Les dispositifs doivent respecter les exigences réglementaires applicables ; documentation de conformité, consignes de sécurité et instructions d’utilisation sont incluses. Les éventuels travaux préparatoires ou aménagements à la charge de l’établissement doivent être signalés.

La formation des enseignants comprend la présentation des sous-ensembles et du procédé, les démarrages et arrêts, la manipulation des substrats, le réglage, un dépôt de démonstration, la maintenance courante, la sécurité et les limites d’utilisation. La documentation comprend les manuels d’utilisation et de maintenance, schémas et informations de raccordement, pièces détachées et consommables, procédures de nettoyage et d’entretien, documents de conformité et, selon l’offre, des ressources pédagogiques réutilisables.

Le candidat détaille la garantie, la prise en charge, les délais de réponse du service technique, les interventions à distance ou sur site, la disponibilité des pièces et les conditions de maintenance préventive et corrective. La réception vérifie la conformité à l’offre, les systèmes de vide et de dépôt, commandes et sécurités, la réalisation d’un dépôt de démonstration, le contrôle d’épaisseur lorsqu’il est prévu, la remise des documents et la formation ; les critères mesurables de réussite des essais sont à préciser avant la commande.