Fourniture et installation d'un spin coater

Contrôle, logiciel et recettes

• Interface logicielle permettant la programmation des paramètres de rotation (vitesse), du temps et de l'accélération.
• Possibilité de créer, sauvegarder et réutiliser des recettes multi-étapes (au moins 3 étapes par recette).

Vide et tenue des substrats

• Pompe et connexions assurant un vide adapté pour l'adhérence des substrats (ex. ordre de grandeur 80–100 mbar); préciser le type et le débit de pompe fournie.

Supports et portage

• Acceptation de substrats verre/quartz/silicium avec dimensions minimales d'au moins 2 cm × 2 cm; le fournisseur doit indiquer les dimensions minimum/maximum acceptées, le poids supporté et les matériaux compatibles.

Système d'injection et compatibilité chimique

• Dispositif d'injection permettant un contrôle fin du débit (ex. pousse-seringue / syringe pump) pour assurer répétabilité des dépôts.
• Compatibilité requise avec solvants organiques : dichlorométhane, THF, méthanol, éthanol, acétate d'éthyle, toluène, DMF, chlorobenzène, ainsi qu'avec solutions aqueuses.
• Indiquer consommables recommandés et compatibilité avec seringues en PP si applicable.

Installation et environnement d'utilisation

• Appareil conçu pour être installé et utilisé sous hotte aspirante; respecter contraintes de sécurité liées à l'utilisation de solvants organiques.
• Le fournisseur doit fournir les modalités d'installation, schémas de raccordement électrique et de vide, et informations d'encombrement pour intégration sous hotte.

Formation, documentation et assistance

• Fourniture d'un tutoriel et d'une documentation d'utilisation en français et/ou anglais couvrant le logiciel, l'appareil et les procédures de dépôt.
• Prestation de mise en service et formation sur site incluse.

Garantie, maintenance et variantes

• Garantie minimale d'un an sur le matériel et la mise en service.
• Modalités de maintenance et conditions de support après-vente à préciser.
• Possibilité de proposer jusqu'à deux variantes techniques répondant aux exigences minimales et apportant des améliorations (techniques, environnementales ou sociales).