Fourniture de deux cibles rotatives pour équipement MS-PVD

Fourniture de deux cibles rotatives identiques en matériau IMO 4N, destinées à être installées dans un équipement de pulvérisation cathodique magnétron pour déposer le matériau sur un substrat.

Les caractéristiques demandées comprennent une pureté de 99,99 % et une densité supérieure à 99 % de la valeur théorique. Les dimensions indiquées sont L 1323,4 mm, diamètre intérieur 135 mm et diamètre extérieur 155 mm; les cibles et tubes supports doivent correspondre au dessin de référence. Le matériau TCO doit être composé de 98 à 99 % en poids d’oxyde d’indium et de 0 à 2 % en poids d’un ou plusieurs autres oxydes métalliques.

Performances attendues, pour une épaisseur comprise entre 50 et 150 nm :

• Résistivité : maximum 0,70 mΩ·cm; aucun minimum fixé.
• Mobilité : minimum 40 cm²/(V·s); aucun maximum fixé.
• Concentration de porteurs : de 1 × 10²⁰ à 3 × 10²⁰ cm⁻³.
• Transmission entre 300 et 1200 nm : de 80 à 100 %.

Le candidat doit présenter deux chiffrages distincts pour le collage du matériau sur un tube support neuf et sur un tube support usagé avec une cible TCO usagée. Dans ce second cas, le CEA fournit le tube support et le prix du matériau délié est déduit du prix final.

Documents, livraison et réception
Une liste de colisage doit être communiquée avant livraison, avec le poids net total de l’expédition, le nombre de colis, les poids et dimensions de chaque colis et de chaque cible. Le titulaire est responsable de l’emballage. La documentation comprend, pour chaque cible, une fiche matière indiquant notamment la composition, les impuretés mesurées et les dimensions, ainsi qu’une fiche de données de sécurité.

La réception s’appuie sur un certificat d’analyse pour chaque cible, incluant notamment les dimensions (ID, OD, longueur ITO, densité et nombre et longueur des segments), les mesures d’impuretés, l’absence de bris et la conformité des dimensions vérifiées sur site. Elle est formalisée par procès-verbal dans les quinze jours suivant la livraison; la signature du procès-verbal transfère la propriété des fournitures. La garantie porte sur une usure de l’épaisseur du matériau pouvant atteindre 80 % de 0,8 × (diamètre extérieur − diamètre intérieur), sans gravure locale excessive.