Unité de stockage de plaques nues 300 mm

Fourniture d’une unité destinée au stockage et à la manutention automatisée de plaques nues de 300 mm, avec montage, essais, mise en service et formation des utilisateurs. La capacité de stockage visée est d’environ 1 500 plaques réparties dans des compartiments isolés les uns des autres pour limiter les contaminations particulaires et métalliques.

L’équipement comprend deux ports de chargement pour supports de 300 mm, un aligneur de méplat (de préférence optique), un système de lecture d’identifiant sur les faces avant et arrière et une double lame de manutention en contact avec la seule face arrière. Les lames doivent pouvoir fonctionner indépendamment. Le système doit être compatible avec l’OHT/AMHS Muratec SRC350X et charger/décharger des FOUP et FOSB avec ou sans RFID.

Paramétrage et performances

Les types de plaques sont configurables et enregistrables. Les compartiments et les lames sont affectés indépendamment aux types de plaques; le type peut être sélectionné par l’utilisateur ou par l’automatisation. Les fonctions de chargement et déchargement doivent gérer des plaques et supports multiples, avec sélection de slots ou de groupes, alignement du méplat et lecture d’identifiant activables ou non.

• Chargement de 25 plaques en moins de 5 minutes, du docking du support au rangement de la dernière plaque; déchargement de 25 plaques en moins de 5 minutes, du docking à la sortie de la dernière plaque.
• Essai d’endurance du système de manutention : 5 000 transferts sans défaillance; aucun frottement de plaque ni mouvement susceptible de générer des particules sur les plaques.
• Les plaques concernées sont circulaires, en silicium, substrat transparent ou SOI, de 300 mm; épaisseurs standard de 775 ± 25 µm, plaques minces jusqu’à 300 µm et plaques de bonding jusqu’à 1 500 µm. Les masses indiquées sont 128 g en standard, 49 g au minimum et 256 g au maximum; bow/warp maximal : 500 µm.
• Les surfaces de contact autorisées sont les faces arrière; matériaux cités : PEEK, PFA, PVDF ou PTFE. Les ports doivent respecter les normes SEMI mentionnées au cahier des charges.

Environnement propre et contrôles

Pour les équipements fonctionnant au moins en partie à pression atmosphérique, les prescriptions de mini-environnement comprennent une surpression supérieure à 1 Pa, une vitesse de soufflage de 30 à 40 cm/s à 10 cm sous les filtres et de 20 à 40 cm/s au niveau des plaques. Les vérifications particulaires prévoient sept points d’échantillonnage statique, une minute par point, avec un maximum de 35 particules/m³ de taille supérieure à 0,1 µm; en dynamique, un point par site en mouvement, une minute par point, avec un maximum de 3 500 particules/m³ de taille supérieure à 0,1 µm. Les performances de contamination sont vérifiées à l’acceptation et suivies pendant la garantie.

Le cahier des charges fixe aussi des contrôles de contamination particulaire et métallique. Pour la contamination frontale liée à la manutention, les seuils indiqués sont inférieurs à 2 particules à 0,16 µm minimum et inférieurs à 35 particules à 90 nm minimum, sur trois plaques consécutives conformes. Le contrôle de l’arrière prévoit l’absence de signature de rayure et limite à 10 % l’écart du nombre total de défauts entre les plaques n° 1 et n° 3. Les tests métalliques C4/C5 prévoient notamment une analyse TXRF avec cartographie et VPD-ICPMS; les seuils indiqués incluent une moyenne TXRF inférieure à 5 × 10¹⁰ at/cm² ou à la limite de détection applicable, les métaux nobles sous la limite de détection et le lithium sous cette limite.

L’équipement doit préserver les conditions de la salle propre, respecter le concept de propreté ISO 3 à ISO 8 et maintenir les COV sous 50 ppb. Les matériaux des zones sensibles doivent être dissipatifs; pour les surfaces à moins de 25 cm des plaques, la décharge électrostatique doit rester inférieure à 100 V/inch.

Interfaces, installation et réception

Le titulaire fournit les plans d’encombrement et de dégagement, le gabarit, les informations d’installation, l’analyse des risques, les éléments de conformité SECS/GEM et la documentation de préparation. Les informations d’installation sont attendues au plus tard 10 jours ouvrés après notification, puis en version complétée au plus tard deux mois après notification. La préparation comprend également l’assistance à la conception du châssis et des P&ID; leur examen par le CEA est prévu quatre mois avant livraison, et la liste définitive de colisage un mois avant expédition.

Le titulaire réalise l’assemblage mécanique et le nivellement, participe au raccordement final de l’équipement aux utilités et effectue les réglages, calibrages et contrôles matériels nécessaires. Il remet un rapport matériel de mise en service. Les essais comprennent des contrôles en usine, à la livraison, à l’installation, à la qualification, à la réception et en fin de garantie; les essais de réception comprennent notamment les tests de manutention, de contamination et de mini-environnement. Le transport interne jusqu’à l’emplacement final est effectué par le CEA ou son sous-traitant, en présence du titulaire. L’équipement et ses périphériques sont livrés propres; les éléments destinés à la salle propre sont emballés sous double film, les emballages bois, carton et papier traditionnel sont proscrits pour les accessoires concernés, et les filtres de chambre environnementale et FFU sont montés par le titulaire après livraison.

Formation, garantie et maintenance

La formation à l’utilisation et à la sécurité est incluse. Après mise en service, la formation des utilisateurs est organisée sur site pour 8 à 12 personnes, en modes production et ingénierie. Les formations de maintenance de niveau 1 (2 à 4 personnes) et avancée (2 personnes) sont proposées en options.

La garantie standard dure un an à compter de la réception; une extension optionnelle d’un an est prévue. Elle comprend la maintenance préventive et corrective, au moins une intervention préventive par chambre de procédé et par an, ainsi que les frais associés. Les objectifs sont une disponibilité supérieure à 90 %, un MTBF supérieur à 3 000 h et un MTTR inférieur à 4 h. Si la disponibilité ou le MTBF n’est pas conforme, la garantie est prolongée par périodes de trois mois jusqu’à conformité. Le soutien sur site doit intervenir dans un délai maximal de 8 heures ouvrées après appel ou courriel, avec interventions possibles de 8 h à 18 h en semaine. Le titulaire fournit les listes de pièces de rechange et consommables avec leurs références, fonctions, prix et délais de livraison; il s’engage à pouvoir proposer maintenance préventive et corrective pendant au moins 10 ans après la garantie.