Fourniture d’un système de spectrométrie EDS

Le titulaire fournit un système de spectrométrie à dispersion d’énergie des rayons X (EDS), à installer sur le MEB-FEG existant, fonctionnant en vide élevé (environ 10⁻⁴ à 10⁻⁶ mbar) et doté d’une platine motorisée pilotable par le logiciel du système. Le détecteur doit être de type Silicon Drift Detector (SDD), pour des analyses élémentaires rapides et à haute résolution.

• Taux de comptage en sortie, en mode spot, de l’ordre de 1 Mcps, avec un temps mort suffisamment faible pour éviter la dégradation du signal ; temps d’échantillonnage réglable par l’utilisateur.
• Résolution énergétique ≤ 127 eV sur la raie Kα du Mn, selon ISO 15632 ou équivalent ; plage énergétique couvrant au moins 2 à 30 keV.
• La distinction des raies S Kα₁ (2,3078 keV) et Mo Lα₁ (2,2932 keV), séparées d’environ 15 eV sous excitation à 5 kV, constitue un avantage, et non une exigence impérative.

Logiciel d’acquisition et d’analyse

Le logiciel doit couvrir l’acquisition, le traitement et l’exploitation des données : spectres, analyses ponctuelles et multipoints, profils linéaires et moyennés, ainsi que cartographies élémentaires. Il comprend des fonctions de quantification ZAF et/ou Φ(ρz) de type XPP et permet la gestion d’une bibliothèque de standards internes. Plusieurs licences sont à fournir.

Le système pilote la platine motorisée du MEB afin d’automatiser les mesures. Le logiciel intègre des méthodes d’analyse statistique, de chimiométrie et d’intelligence artificielle pour le traitement, la classification et l’interprétation des données EDS.

Détection automatique et cartographies

Le module de détection automatique des particules utilise notamment le contraste en imagerie électronique SE et/ou BSE et des critères de composition chimique issus de l’analyse EDS. Après détection, il réalise automatiquement des analyses comprenant les mesures morphologiques, la composition chimique et d’autres paramètres configurables ; il doit pouvoir s’appliquer aux cartographies EDS multichamps.

Les cartographies élémentaires doivent être rapides et optimisées, avec une capacité multichamps jusqu’à l’échelle centimétrique, ainsi que des outils de reconstruction, de traitement et de visualisation des données. Un mode Live Mapping est requis pour suivre en temps réel la répartition des éléments et guider la sélection des régions à analyser.

Installation, vérifications et accompagnement

La fourniture inclut l’emballage, la livraison, l’installation, la mise en service complète et les essais de fonctionnement destinés à vérifier la conformité aux exigences techniques. L’impact environnemental des emballages doit être réduit dans le respect de la réglementation en vigueur. La formation doit concerner au moins 3 utilisateurs.

Après les prestations du titulaire, l’IRAMAT dispose de 15 jours pour réaliser les vérifications en vue de l’admission ; le paiement est de 100 % à l’admission du matériel. La garantie est de 2 ans minimum, pièces, main-d’œuvre et déplacement compris ; l’offre précise les composants et prestations couverts ainsi que les exclusions ou limitations éventuelles. L’assistance technique est disponible pendant la période de garantie, et le candidat précise ses délais d’intervention. Les pièces détachées nécessaires au maintien en condition opérationnelle du détecteur doivent rester disponibles au moins 5 ans à compter de l’admission.

Une prestation supplémentaire éventuelle facultative peut être proposée : une solution améliorant la visualisation en temps réel de la composition élémentaire tout en limitant les effets d’ombrage dus à la topographie des surfaces.