Fourniture de substrats cristallins d’arséniure de gallium

Le marché porte sur des substrats cristallins en arséniure de gallium (AsGa), destinés aux bâtis d’épitaxie par jets moléculaires de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Les fournitures doivent être similaires ou supérieures aux substrats existants et sont commandées selon les quantités précisées dans chaque bon de commande.

Tous les substrats sont obtenus par croissance Vertical Gradient Freeze (VGF), semi-isolants et non dopés, avec une face polie, une face gravée et sans marquage laser. Les plaquettes sont fixées par une araignée dans un plateau individuel, scellées dans un sachet métallisé et conditionnées au minimum en salle blanche de classe 100.

• Type 1 : plaquette monocristalline mécanique Epi-Ready, 2 pouces, orientation (100) ± 0,5°, diamètre 50,8 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, TTV P/P ≤ 5 µm, TTV P/E ≤ 10 µm, WARP ≤ 10 µm, épaisseur 350 µm ± 50 ; plats OF 17 ± 1 mm et OF/IF 7 ± 1 mm.
• Type 2 : plaquette monocristalline Prime Epi-Ready, 2 pouces, orientation (100) ± 0,5°, diamètre 50,8 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, EPD de 1 500 à 5 000 cm², mobilité ≥ 4 500 cm²/V.s, TTV P/P ≤ 4 µm, TTV P/E ≤ 10 µm, WARP ≤ 10 µm, épaisseur 350 µm ± 25.
• Type 3 : plaquette monocristalline Prime Epi-Ready, 2 pouces, orientation (111)A décalée de 2° vers <2-1-1> ± 0,1°, angle 270°, diamètre 50,8 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, EPD de 1 500 à 5 000 cm², TTV P/P ≤ 4 µm, TTV P/E ≤ 10 µm, WARP ≤ 10 µm, épaisseur 350 µm ± 25.
• Type 4 : plaquette monocristalline Prime Epi-Ready, 2 pouces, orientation (111)A ± 0,1°, diamètre 50,8 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, EPD de 1 500 à 5 000 cm², TTV P/P ≤ 4 µm, TTV P/E ≤ 10 µm, WARP ≤ 10 µm, épaisseur 350 µm ± 25.
• Type 5 : plaquette monocristalline mécanique Epi-Ready, 4 pouces, orientation (100) ± 0,5°, diamètre 100,0 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, TTV P/P ≤ 5 µm, TTV P/E ≤ 10 µm, WARP ≤ 10 µm, épaisseur 625 µm ± 50 ; plats OF 17 ± 1 mm et OF/IF 7 ± 1 mm.
• Type 6 : plaquette monocristalline Prime Epi-Ready, 4 pouces, orientation (100) ± 0,5°, diamètre 100,0 mm ± 0,4, résistivité ≥ 1E7 ohm.cm, TTV P/P ≤ 15 µm, TTV P/E ≤ 15 µm, épaisseur 625 µm ± 50 ; plats OF 17 ± 1 mm et OF/IF 7 ± 1 mm.

Les longueurs des plats et les orientations de plats doivent respecter les spécifications propres à chaque type. Pour les types 1 à 4, les livrables comprennent les plaquettes commandées, un certificat de conformité matière attestant notamment la pureté, le dopage, la résistivité et l’orientation, un rapport de mesure du TTV, du WARP et des plats OF/IF, ainsi qu’un certificat de conditionnement en salle blanche de classe 100. Les mêmes livrables sont prévus pour les types 5 et 6.

La mise à disposition intervient en sortie d’usine selon l’Incoterm EXW ; le CNRS prend en charge le transport et les formalités douanières jusqu’au LAAS. Le délai indiqué dans le BPU est un engagement du titulaire. Les bons de livraison doivent notamment mentionner la date d’expédition, le destinataire, l’adresse de livraison, la référence de l’accord-cadre, l’identification du titulaire, le matériel livré, sa répartition par colis et, si nécessaire, les numéros de lots de fabrication. Chaque colis porte son numéro d’ordre et contient l’inventaire de son contenu.

Après livraison, le CNRS effectue des contrôles visuels, dimensionnels, électriques si l’équipement est disponible, de propreté et d’emballage, ainsi que des contrôles par diffractomètre à rayons X sur un échantillon de substrats. Il peut réaliser des tests destructifs ; leur coût est supporté par le CNRS si le produit est conforme et par le titulaire dans le cas contraire. La vérification intervient dans un délai maximal de 30 jours. En cas de non-conformité, les fournitures peuvent être ajournées, admises avec réfaction ou rejetées avec remplacement aux frais du titulaire.

La garantie minimale est de 12 mois à compter de l’admission définitive. Elle couvre la remise en état ou le remplacement des fournitures défectueuses ainsi que les frais associés de déplacement, conditionnement, emballage et transport.