Microscope électronique à émission de champ pour caractérisation des matériaux

Colonne et performances

• Colonne FEG avec tension accélératrice couvrant au minimum la plage 20 V à 30 kV.
• Plage de courant sonde 3 pA à 40 nA avec caractérisation / documentation de la stabilité du courant fournie par le constructeur.
• Résolutions cibles documentées pour imagerie SE et pour usages analytiques et EBSD (ex. résolutions sub-nanométriques en conditions haute tension et critères de performance basse tension et analytique requis).

Détecteurs et capacités analytiques

• Détecteurs SE intégrés (SE de colonne et SE de chambre) et détecteur rétrodiffusés intégré avec filtrage énergétique et observation à basse tension.
• Détecteur BSE segmenté (minimum 6 segments) avec acquisition multi-signaux simultanée et sélection angulaire pour optimisation EBSD.
• Système EBSD et système EDS compatibles, intégrables et utilisables simultanément avec acquisition multi-signal (au moins 4 signaux simultanés).

Chambre, platine et manipulations d'échantillons

• Chambre d'analyse grand volume (diamètre intérieur ≥ 350 mm, hauteur ≥ 250 mm) avec au moins 15 ports et sas rapide d'introduction.
• Platine motorisée 5 axes avec déplacements X ≥ 130 mm, Y ≥ 130 mm, Z ≥ 50 mm, inclinaison ≥ 70° et rotation 360°; fonctions de décélération d'énergie, prévention des collisions, navigation optique et système de mesure du courant sur échantillon.
• Zone d'imagerie analytique permettant un champ de repérage d'au moins 5 mm de largeur.

Compatibilité et transfert d'instruments existants

• Démontage, transfert, remontage et qualification des systèmes EBSD et EDS existants et intégration opérationnelle sur le nouveau MEB.
• Reprise et enlèvement de l'ancien MEB (modèle Zeiss Supra 40) aux frais du fournisseur.

Logiciels, informatique et périphériques

• Fourniture des postes informatiques, licences logicielles, mises à jour et écrans de pilotage.
• Logiciel d'acquisition multi-signal avec traitement d'images, mesures dimensionnelles, annotations automatiques, mosaïques, export vers formats TIFF/BMP/JPEG/PNG, gestion multi-sites/multi-échantillons et sauvegarde des paramètres d'acquisition.
• Fourniture d'UPS, meubles/supports, porte-échantillons, accessoires de maintenance et dispositifs de réduction du bruit des pompes primaires.

Installation, mise en service, qualification et formation

• Transport, installation complète, mise en service et qualification instrumentale (y compris essais et validations pour EBSD/EDS).
• Formation des utilisateurs et documentation technique fournie.

Garantie et maintenance

• Garantie pièces et main-d'œuvre incluse et prestation de maintenance tout inclus couvrant pièces essentielles (dont colonne) et interventions sur site; modalités de support et délai d'intervention à préciser par l'offrant.

Contraintes techniques complémentaires

• Stabilité mécanique et du faisceau adaptée à acquisitions longues et à l'acquisition EBSD sur matériaux ferromagnétiques, multimatériaux et déformés.
• Fourniture de tous les éléments nécessaires au fonctionnement exploitable de la chaîne instrumentale telle que décrite (pompes, refroidissement, protections, accessoires et logiciels).