Microscope électronique à balayage de table avec EDS

Système d'imagerie optique et électronique

• Caméra optique CCD haute sensibilité avec grandissements optiques de 30× à >150×, modes d'éclairage fond clair et fond noir, détection couleur, zoom numérique et corrélation optique/électronique; temps d'acquisition optique < 5 s.
• Plage de grandissements électroniques 160× à 350 000×.
• Source d'émission CeB6 ou équivalent à haute brillance.
• Tension d'accélération réglable 2–20 kV avec réglages fins; fonctionnement à basses tensions (<5 kV) pour échantillons biologiques fragiles.
• Gestion du vide en plusieurs modes (vide secondaire et vide poussé) selon le type d'échantillon.
• Temps de chargement des échantillons rapide (spécifié < 30 s).

Modes de détection

• Intégration et pilotage via interface unique des détecteurs : SED (électrons secondaires), BSD (électrons rétrodiffusés) et détecteur EDS.

Porte‑échantillons et platine

• Porte-échantillon frontal acceptant jusqu'à 25 mm de diamètre et 35 mm de hauteur.
• Platine motorisée X/Y avec contrôle Z.
• Compatibilités pour porte-échantillons spécifiques : refroidissement, chauffage, inclinaison et rotation.

Module EDS

• Spectrométrie EDS en temps réel pendant l'imagerie : identification des éléments, cartographies, quantification élémentaire.
• Export des spectres et cartes/rapports dans formats standards (CSV, PDF, TIFF, etc.) et intégration fluide dans l'environnement logiciel du MEB.

Métallisation et préparation d'échantillons

• Fourniture d'un métalliseur à commande numérique permettant dépôt métallique contrôlé (épaisseur 1–100 nm) et pompe associée assurant le vide requis pour la métallisation.
• Kit de consommables de démarrage : supports échantillons, pastilles carbone (10 mm et 25 mm), pinces, etc.

Poste informatique et logiciel

• Poste dédié avec écran couleur ≥ 27" et onduleur.
• Configuration minimale demandée : CPU ≥ Intel i7, RAM ≥ 32 Go, SSD ≥ 1 To, multiples ports USB, compatibilité système d'exploitation récent (compatibilité Windows 11).
• Logiciel de pilotage intégré : acquisition, navigation, corrélation optique/électronique, acquisitions automatiques multi-champs, mosaïques, outils de mesures, export des métadonnées et journaux.
• Modalités de licences à préciser (licences perpétuelles envisagées) et cadre de réponse technique à compléter par le fournisseur.

Formation, documentation et maintenance

• Formation en français pour 3 personnes d'au moins 2 jours après installation.
• Fourniture de documentation électronique et papier.
• Garantie, maintenance préventive et curative, fourniture de pièces et consommables; disponibilité et pérennité des pièces au minimum 10 ans; modalités de mises à jour logicielles et d'interventions à définir.

Livraison, réception et vérifications

• Livraison et installation aux frais du fournisseur, conditionnement adapté, vérifications quantitatives et d'aspect à la réception.
• Réalisation des essais de réception, vérifications qualitatives et d'aptitude après mise en service; corrections et retests jusqu'à conformité.

Prestations additionnelles obligatoires

• Porte-échantillon type platine Tilt amovible et motorisée : amplitude ±60°, rotation 360°, observation d'échantillons jusqu'à 20 mm de hauteur.

Exigences techniques complémentaires

• Intégration logicielle sans bascule entre environnements acquisition/EDS.
• Remise d'un cadre de réponse technique complété par le fournisseur précisant modalités opérationnelles, maintenance et SLA.