Fourniture d’un microscope électronique à balayage avec microanalyse EDS

Fourniture d’un MEB compact, de son système de microanalyse X EDS, du poste informatique commun de pilotage et d’un kit de pièces de rechange. Le titulaire assure la livraison, l’installation, la mise en service et les essais sur site. Les livraisons sont soumises à l’accord préalable écrit du CEA, après acceptation des essais et contrôles en usine. Le titulaire fournit les connectiques et périphériques nécessaires ; le CEA met à disposition l’alimentation, les utilités nécessaires et une table adaptée aux spécifications du fournisseur.

Caractéristiques attendues

• Tension d’accélération réglable au minimum entre 5 et 20 kV ; grandissement jusqu’à au moins ×200 000. Les résolutions atteintes doivent être précisées selon la tension et le détecteur utilisé.
• Platine motorisée au minimum en X et Y, avec une amplitude d’au moins 20 × 20 mm². Porte-échantillons compatibles avec des échantillons cylindriques allant jusqu’à 30 mm de diamètre et 30 mm de hauteur, ou avec des échantillons plus petits de géométries diverses.
• Vide réglable en mode « low vacuum » ou « high vacuum » selon la nature isolante ou conductrice de l’échantillon. Le changement de source d’électrons doit être simple, avec filament prémonté et précadré ; sa durée de vie est à préciser.
• Pour l’EDS : refroidissement sans azote liquide impératif, détection de l’uranium impérative et limite de détection inférieure B ou C. La résolution du détecteur et le nombre de canaux sont à préciser. Les acquisitions doivent couvrir les points, lignes et cartographies multiélémentaires, avec mémorisation de l’image électronique des positions analysées et export dans des formats d’image standards.

La proposition technique décrit notamment l’implantation, le pompage, l’optique électronique, la chambre, les porte-échantillons, les détecteurs secondaires et rétrodiffusés, l’EDS, le poste informatique, les logiciels et les contraintes de maintenance. La fourniture d’un détecteur d’électrons secondaires constitue une option contractuelle.

Formation, assistance et maintenance

Une session de prise en main sur site couvre le microscope, l’EDS et les opérations usuelles de maintenance réalisables par le CEA ; elle s’adresse à cinq personnes au maximum. Le titulaire remet un manuel d’utilisation à l’issue de la formation.

La tranche ferme comprend la maintenance préventive, l’assistance à distance par téléphone ou courriel avec un ingénieur d’application et la maintenance logicielle, y compris la livraison et l’installation de corrections et mises à jour. Les options de maintenance préventive et corrective comprennent une visite annuelle de nettoyage et de contrôle, l’assistance et la maintenance logicielle. Les pièces usuelles, dont les filaments de tungstène, sont incluses ; les pièces jugées défectueuses ou hors d’usage hors pièces usuelles font l’objet d’un devis. Les visites curatives sont illimitées et couvrent la main-d’œuvre, le déplacement et le diagnostic, y compris la recherche d’un défaut de performance ; les pièces hors pièces usuelles et leur remplacement sont devisés. Une option distincte porte sur le détecteur d’électrons secondaires. Les prestations supplémentaires ou modifications mineures donnent lieu à devis préalable et à une fiche de modification signée avant exécution.

Livrables et réception

Le titulaire remet en français le descriptif technique, les modes opératoires d’utilisation et de maintenance, la liste des pièces d’usure et de leurs fournisseurs, les certificats de conformité, procès-verbaux d’essais et de contrôle, certificats d’étalonnage, constats de vérification et documentation complète des équipements périphériques. Les modes opératoires sont fournis en version papier, en plus de toute version électronique éventuelle.

La réception des postes de fourniture, installation et formation intervient après livraison, mise en service, essais satisfaisants sur site et acceptation des livrables ; celle des prestations de maintenance et des options intervient après acceptation des prestations et livrables associés. Le procès-verbal de fin de montage intervient après montage, vérifications de conformité, implantation et vérification du fonctionnement de l’équipement et de ses utilités.