Acquisition de fours atmosphériques et sous vide AP-LPCVD

Configuration générale

Ensemble compact composé de 3 fours horizontaux superposés pour traitements thermiques d'oxydation et dépôts LPCVD.
Capacité nominale : 50 wafers ; supports compatibles 50 mm, 76 mm, 100 mm (standard) et 150 mm.
Station de chargement motorisée avec flux laminaire en salle blanche ISO 6 ; nacelles porte‑substrats pour 50 wafers et formats divers.

Configuration des tubes et procédés

Tube supérieur (Tube 1) : oxydation sèche/humide jusqu'à 1100 °C en fonctionnement standard, recuit possible jusqu'à 1300 °C ; intégration Trans‑LC ou DCE requise en PSE obligatoire; option tube en SiC proposée en PSE.
Tube intermédiaire (Tube 2) : oxydation sèche/humide 1100 °C, torche externe, Trans‑LC ou DCE obligatoire; recuit jusqu'à 1300 °C; option SiC en PSE.
Tube inférieur (Tube 3, LPCVD) : dépôts de nitrure de silicium (Si3N4, SixNy LS) à environ 800 °C ; contre‑tubes/quartz liner, matériel et éléments de vide adaptés, 3 tubes quartz pour substrats 100 mm (extension jusqu'à 150 mm).

Systèmes gaz, vide et sécurité

Panneaux gaz intégrés (N2, O2, H2, NH3, SiH2Cl2, etc.), steamer (RASIRC) et torche externe ; vannes isolantes, régulateurs, capteurs de sécurité, raccords VCR, matériaux inox 316L et tuyauterie PFA où spécifié.
Système de pompage et vide : pompage adapté au LPCVD et aux traitements atmosphériques ; caractéristiques attendues : vide limite ≤ 10 mTorr, fuite ≤ 10 mTorr/min, capteurs de pression et interlocks de sécurité.

Pilotage, recettes et traçabilité

Supervision centrale via PC compatible Windows 11 ; licences logicielles incluses, gestion des profils utilisateurs, journalisation, export des données et bibliothèque de recettes.
Fourniture minimale de 10 recettes à la livraison (paramètres, indices de performance : uniformité, indice de réfraction, contraintes, etc.).

Livraison, installation, réception et formation

Transport, déballage et installation en salle blanche avec plan d'implantation, liste des servitudes (fluides, électricité) et dossier d'installation complet.
Réception provisoire en usine puis réception définitive sur site avec tests de croissance/dépôt (mesures d'épaisseur, indice de réfraction) et période de tests prolongés possible (jusqu'à 4 semaines après mise en service).
Garantie minimale 12 mois ; PSE pour extension de garantie, kit et contrat de maintenance (12 mois, délai d'intervention ≤ 3 semaines) ; formation pratique et théorique minimale de 5 jours avec supports FR/EN.

Prestations supplémentaires éventuelles (PSE)

PSE n°1 : tubes et nacelles en SiC pour traitements jusqu'à 1300 °C.
PSE n°2 : Trans‑LC ou DCE (bulleur/source liquide) et ses équipements associés (débitmètre massique, vannes pneumatiques, contrôle température, injection, tuyauterie PFA).
PSE n°3 : extension de garantie 1 an.
PSE n°4 : kit maintenance (pièces et consommables).
PSE n°5 : contrat de maintenance annuel (délais, coûts, mises à jour logicielles).

Tous les détails du marché

Gagnez du temps, toutes les infos des documents sont déjà analysées: cahier des charges, infos clés, budget, contact, etc

Posez vos questions sur le marché