Fourniture de substrats InP 100 mm
Fiche synthétique du marché public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.
Caractéristiques techniques et exigences — substrats InP dopés au fer
Spécifications principales
- Substrat : Indium Phosphide (InP), diamètre 100 mm (tolérance typique 100 ±0,4 mm, limite minimale 99,6 mm).
- Dopant : Fer (Fe).
- Épaisseur ciblée : 650 µm ; spécification indiquant « 625 +25 » et épaisseur minimale 600 µm.
- Orientation cristalline : (100) avec tolérance de goniométrie (valeur indiquée « GONIOX 40,2 » dans la spécification).
- Finition faces avant/arrière : Mirror Polished (Epi‑ready).
- Géométrie : limites sur TTV, Bow, Warp, TIR (valeurs et méthodes de mesure indiquées dans la spécification, ex. TTV/9pts 10 ; Bow 10 ; Warp 10).
- Particules et LLS : objectifs/limites précisés (ex. LLS 50 pcs/wafer) et seuils particulaires à respecter.
- Défauts de bord et rayures : none (aucune tolérance admise pour edge chips/micro‑rayures).
Contrôles analytiques et qualité
- Contrôles contamination métallique par TXRF et/ou ICP‑MS avec limites définies (ex. limites pour Li et autres éléments indiquées dans le tableau des spécifications).
- eCoA exigé : rapport électronique de lot couvrant l’ensemble des paramètres spécifiés.
- Gestion des non‑conformités : exigence de dérogation avant expédition pour plaques hors‑spécification, analyses conjointes, RMA et responsabilité financière du fournisseur en cas de retour.
- Fiche Évaluation de Site à fournir décrivant protocoles de maîtrise des contaminations, fréquence des contrôles, plans de nettoyage et données de suivi (cartes/histogrammes).
Conditionnement, étiquetage et traçabilité
- Conditionnement conforme au « clean concept » : double sac, dessiccant, boîte Entegris H9100 recommandée, scellage et protection anti‑contamination.
- Traçabilité : marquage laser au dos, étiquettes internes avec références et numéros d’appel à livraison, documents d’expédition accompagnant les colis.
Logistique et modalités de livraison
- Modalités de bons de commande et accusés de réception identiques aux exigences générales : envoi électronique, accusé sous 5 jours ouvrés, confirmation sous 15 jours.
- Adaptation possible aux points de livraison déportés et horaires d’ouverture contractuels.
- Audits et suivi qualité réguliers, participation aux actions correctives et fourniture des données d’analyse sur demande.
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Critères d'évaluation
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Échantillons
Adresse de livraison
Bâtiment Réception — 17 avenue des Martyrs — 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (ou Bâtiment 4017, zone réception substrats selon instruction d'expédition)
Modalités de livraison
Remise de 5 plaques pour cette référence avant la date limite indiquée ; plaques deviennent propriété du destinataire à réception. Prime forfaitaire 700 € HT par plaque éligible (versement sous conditions, délai maximal 30 jours pour soumissionnaires non retenus). Étiquetage et bon de livraison externes requis.
Produits à fournir
- Plaques échantillons InP 100 mm dopées au ferx5
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