Fourniture de substrats InP 100 mm
Fiche synthétique du marché public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.
Caractéristiques techniques et exigences — substrats InP dopés au soufre
Spécifications principales
- Substrat : Indium Phosphide (InP), diamètre 100 mm (tolérance minimale indiquée 99,6 mm).
- Dopant : Soufre (S).
- Épaisseur ciblée : 650 µm (épaisseur minimale 600 µm).
- Orientation cristalline : (100). Finition faces avant/arrière : Mirror Polished (Epi‑ready).
- Géométrie : limites sur Bow, Warp, TTV/TIR (valeurs limites indiquées dans la spécification, ex. Bow 10, Warp 10, TTV/9pts 10).
- Contrôles particulaires et EPD : cibles/limites mentionnées dans la spécification (ex. EPD cible, LLS cible 50 pcs/wafer, limites particules par wafer à respecter).
- Défauts de bord et rayures : aucune feature d’edge chips / micro‑rayures admise.
Contrôles analytiques et qualité
- Contrôles contamination métallique par TXRF et/ou ICP‑MS selon méthode indiquée ; limites et métaux à contrôler listés (Listes 1 à 3, y compris Li avec limite spécifiée).
- Production de rapports de lot électroniques (eCoA) incluant toutes les données mesurées et la preuve de conformité aux paramètres demandés.
- Procédure gestion hors‑spécification : dérogation argumentée requise avant expédition, analyses conjointes en cas de non‑conformité, RMA et prise en charge des coûts par le fournisseur si applicable.
- Obligation de fournir une « Fiche Évaluation de Site » décrivant protocoles de contrôle contamination, contrôles bains/nettoyages, mesures chucks/process, cartes/histogrammes de particules.
Conditionnement, étiquetage et traçabilité
- Conditionnement « clean concept » : double sac (plastique + métallisé) avec dessiccant, boîtes type Entegris 100 mm Ultrapack H9100 recommandées, boîtes fermées et scotchées.
- Étiquetage et traçabilité : identification interne (référence produit), numéro de contrat et numéro d’appel à livraison sur emballage et bordereau interne ; marquage laser au dos le long de l’OF.
- Documents d’expédition : eCoA remis au moment de l’expédition, bon de livraison extérieur avec références et quantités.
Logistique et modalités de livraison
- Bons de commande électroniques comportant quantité, prix unitaire, date demandée et lieu de livraison ; accusé de réception dans les 5 jours ouvrés, confirmation finale sous 15 jours.
- Gestion des urgences : prise en compte de demandes urgentes avec proposition de date par le fournisseur et validation par le donneur d’ordre.
- Suivi qualité : audits, rapports semestriels et participation aux actions correctives (méthode 8D).
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Critères d'évaluation
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Échantillons
Adresse de livraison
Bâtiment Réception — 17 avenue des Martyrs — 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (ou Bâtiment 4017, zone réception substrats selon instruction d'expédition)
Modalités de livraison
Remise de 5 plaques pour cette référence avant la date limite indiquée ; plaques deviennent propriété du destinataire à réception. Prime forfaitaire 700 € HT par plaque éligible (versement sous conditions, délai maximal 30 jours pour soumissionnaires non retenus). Étiquetage et bon de livraison externes requis.
Produits à fournir
- Plaques échantillons InP 100 mm dopées au soufrex5
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