Spectromètre de masse à temps de vol TOF-MS

Fourniture d’un spectromètre de masse à temps de vol complet pour l’analyse en continu des gaz de procédé lors du dépôt sous vide de couches minces. L’ensemble comprend les pompes, alimentations, interfaces, logiciels, raccordements au cluster de dépôt, accessoires de calibration et ordinateur dédié.

Analyse et performances

L’équipement doit permettre l’acquisition de spectres en temps réel, la surveillance des espèces gazeuses, le diagnostic plasma, le suivi des réactions en phase gazeuse et la détection de fin de procédé. Il doit être compatible avec les gaz inertes, réactifs et corrosifs ; les matériaux exposés et le système de pompage doivent résister à la corrosion.

• Domaine de masse nominal : ≥ 1 à 1 500 Th ; domaine maximal : ≥ 5 000 Th.
• Pouvoir de résolution : ≥ 700 (M/ΔM) ; exactitude de masse : ≤ 50 ppm.
• Gamme dynamique : ≥ 10⁵ en 1 s ; cadence : ≥ 200 spectres/s.
• Filtrage sélectif jusqu’à quatre masses, avec une gamme dynamique équivalente supérieure à 10¹⁰ ; atténuation réglable pour réduire le signal des espèces majoritaires.
• Avec introduction continue de 570 ppb de Kr dans l’air : sensibilité > 10 cps/ppb et limite de détection < 5 ppb en 1 s.

L’échantillonnage doit permettre un prélèvement direct de la pression atmosphérique au vide poussé et le raccordement aux réacteurs SCube, SC1#1 et SC1#2 de Swisscluster. Les raccords proposés sont VCR 1/4", Swagelok 1/8" ou une solution équivalente compatible ; le titulaire précise les débits admissibles, pressions de fonctionnement et interfaces. La fourniture comprend une pompe primaire et une pompe turbomoléculaire adaptées aux gaz corrosifs, des mesures de pression et des protections contre la contamination et la corrosion.

Logiciels, installation et réception

Le logiciel doit assurer le pilotage, l’acquisition, la visualisation et le traitement des données ; l’export doit être possible dans un format ouvert (txt, xls ou équivalent importable dans Excel ou Origin). Les données brutes, métadonnées et paramètres de procédé doivent pouvoir être archivés dans un format documenté et interopérable.

Le titulaire livre et installe le système sur le cluster, réalise les essais de fonctionnement et vérifie les performances annoncées. La réception intervient après installation complète, démonstration du fonctionnement sur SC1 et Scube, validation des performances métrologiques, formation et remise de la documentation technique imprimée et électronique en français et en anglais. La formation sur site, en français ou en anglais, concerne 5 personnes et couvre le fonctionnement, la calibration, le logiciel, la maintenance de premier niveau et les bonnes pratiques d’exploitation. L’offre précise les dimensions, la masse et les besoins en gaz, électricité et fluides. Elle indique également la durée de garantie, les délais d’intervention, la disponibilité des pièces, les possibilités de maintenance préventive et corrective et les conditions de support logiciel.

Les délais plafond indiqués dans l’acte d’engagement sont d’1 mois pour la livraison et de 2 semaines pour l’installation ; la garantie proposée ne peut être inférieure à 12 mois.