Fourniture d’un spectromètre de masse (FIB Tof Sims)

Description de l'Équipement

• Instrument de spectrométrie de masse à ions secondaires à haute résolution et haute sensibilité, capable de profilage de profondeur localisé et de faisceau d'ions focalisé (FIB).
• Spécifications Techniques :
  • Résolution latérale pour l'imagerie SIMS : ≤ 15 nm
  • Résolution latérale pour l'imagerie par électrons secondaires : ≤ 3 nm
  • Capacité de faible énergie : ≤ 5 keV
  • Résolution de masse maximale : > 400 (FWHM) @ 29Si
  • Sensibilité : > 266 amu/e
• Système de pompage :
  • Pression de base : ≤ 5 x 10^-6 mbar
• Systèmes de gaz/produits chimiques :
  • Lignes équipées de filtres et vannes d'arrêt manuelles.
• Gestion des gaz inflammables :
  • Dilution par azote pour maintenir la concentration en dessous du LIE.
• Contrôle de la température :
  • Précision de ±5°C par rapport au point de consigne.

Maintenance

• Liste complète des pièces de rechange et des consommables nécessaires au fonctionnement de l'équipement.
• Possibilité de souscrire à un contrat de maintenance après la période de garantie, incluant maintenance préventive et corrective.
• Coût de possession à fournir, incluant la consommation des installations (gaz, eau, électricité).