Scellement de substrats par thermocompression et anodisation

Chambre de scellement et manipulation des substrats

• Chambre avec chargement manuel ou semi-automatique, ingénierie du vide et dispositifs de purge pour réduction des contaminations.
• Outils de maintien, pression et alignement permettant contact ou proximité, avec dispositifs d'activation et enlèvement des spacers/clamps avant application de pression.
• Plateaux et moyens de maintien adaptés aux formats de substrats visés (incluant supports pour 4 pouces) et réglages micrométriques d'alignement.

Profils thermiques et contrôle des cycles

• Profils thermiques programmables et séquentiels avec vitesses de montée < 10 °C/min et vitesses de descente < 50 °C/h.
• Séquences paramétrables, mémoires de recettes, contrôle des paliers et sécurités thermiques.

Pré-activation et activation de surface (PSE)

• PSE n°1 (optionnel) : module plasma d'activation sous azote ou oxygène, option brouillard vapeur d'eau post-traitement.
• PSE n°2 (obligatoire) : activation par acide formique ou azote hydrogéné, réalisation sous vide ; séquences spécifiques pour métaux (cuivre, aluminium) et protections/sûretés opérateur compatibles salle blanche.
• Options supplémentaires possibles pour traitements additionnels (PSE n°3 extension de garantie, PSE n°4 maintenance 3 ans).

Système de commande et informatique embarquée

• Interface conviviale, gestion des droits utilisateurs, journalisation des opérations et sauvegarde des recettes.
• Système d'exploitation compatible Windows, support logiciel garanti au moins jusqu'en 2032.
• Fourniture des licences logicielles nécessaires et image disque de restauration ; réponse aux exigences de sécurité informatique (questionnaire de sécurité).

Livraison, installation, réception et essais

• Livraison emballée compatible salle blanche, moyens de manutention prévus (hayon, transpalette ou chariot élévateur) ; possibilité de visite préalable.
• Installation sur site sous supervision technique du site d'accueil ; pré-acceptation en usine puis acceptance définitive sur site.
• Essais d'acceptation incluant tests de scellement sur au moins deux substrats 4 pouces, essais d'adhérence et mesures de désalignement avec exigences de répétabilité élevées.

Formation, maintenance et garantie

• Formation des utilisateurs et délivrance de documentation technique et procédures opératoires.
• Garantie minimale de 12 mois couvrant main-d'œuvre, pièces détachées et frais de déplacement ; options d'extension de garantie et de contrat de maintenance post-garantie.

Aspects environnementaux et sécurité

• Conception visant l'efficacité énergétique et la réduction de la consommation électrique.
• Gestion traçable des consommables et déchets, contraintes de confinement des produits chimiques et provisions pour réduction des émissions.