Fourniture d'un réacteur de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique sur instao.fr

Objet du marché
Fourniture d’un réacteur de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique pour le laboratoire I-FOTON de l’INSA de Rennes.
Étendue du besoin à satisfaire
- Acquisition d’un réacteur permettant de réaliser des couches diélectriques contrôlées et reproductibles.
- Intégration d’un sas d’introduction, minimum de 4 cathodes en configuration co-focale, vitesses de dépôt > 2 nm/min, porte substrat rotatif et chauffant (400°C minimum), et un environnement logiciel pour le contrôle du réacteur.
- Contraintes d'installation : salle blanche ISO 6, dimensions de l'espace, résistance de la dalle, etc.

Décomposition en tranches et en lots
- Le marché ne comporte pas de découpage en tranches ni en lots.
Clauses techniques particulières
- Spécifications techniques :
  - Certification CE, conformité aux normes électriques, capacité de traitement d’échantillons de 1 cm² à 100 mm (4 pouces) avec non-uniformité < 5%.
  - Enceinte de dépôt en acier inoxydable, système de pompage secondaire, sas de transfert, 4 cathodes magnétrons, porte substrat rotatif, gestion des gaz, et logiciel de commande.
- Procédés de pré-réception et de réception :
  - Pré-réception usine et réception définitive avec formation du personnel.
- Conditions de garanties et de SAV :
  - Garantie d’un an minimum, conditions d’accès à la hotline, délais d’intervention.
- Développement durable :
  - Équipement économe en énergie, facilité de démontage et de recyclage, disponibilité des pièces détachées.

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Fourniture d'un réacteur de dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique