Microscope électronique à balayage FEG avec faisceau ionique et systèmes analytiques

Colonne électronique (FEG)

Source FEG (émission de champ, Schottky) avec fonctionnement en haut vide et en pression contrôlée (LV).
Tension d'accélération 200 V à 30 kV ; décélération du faisceau (beam deceleration) pour réduction de l'énergie d'atterrissage.
Résolution requise : ≤0,7 nm (SE à 30 kV haut vide), ≤1,4 nm (SE à 1 kV), ≤1,2 nm avec décélération.
Systèmes et logiciels de réglage, contrôle et paramétrage de la colonne.

Colonne ionique (FIB)

Source Ga ; courant de faisceau 1 pA à 100 nA ; spot ≤10 nm à 100 nA ; tension 500 V à 30 kV.
Durée de vie source > 1000 h ; résolution ≤2,5 nm à 30 kV.
Pompage différentiel pour protection de la source et fonctionnement en mode FIB et en mode d’analyse microchimique sans interventions lourdes.
Compensation automatique de coïncidence faisceau, moniteur d’alignement et gestion automatique des taux d’ablation.

Platine et porte-échantillon

Platine motorisée 5 axes (X, Y, Z, tilt, rotation) avec déplacements minimaux X 55 mm, Y 55 mm, Z 65 mm ; tilt −35° à +90° ; rotation 360°.
Répétabilité du repositionnement ≤ ±3 µm sur grands trajets.
Capacité pour au moins 18 stubs Ø 12 mm ; chambre avec ≥20 ports pour périphériques.

Détecteurs d’imagerie

Détecteurs SE et BSE (immersion et/ou rétractables), détecteurs adaptés à conditions basse pression/gaz résiduel.
Détecteur dédié pour imagerie en basse pression sans métallisation préalable ; SE rétractable en haut de colonne ; détecteur BSE immersé ; options de détection mixte.
Fonctionnalités de suppression de dérive spatiale et moniteur d’alignement.

Spectrométrie X (EDS)

Détecteur SDD (surface ≥ 60 mm²) avec résolution spectrale et performances spécifiées (<46 eV à 50 kHz pour C Kα, <59 eV pour F Kα, <127 eV à 200 kcps pour Mn Kα).
Acquisition, calibration, cartographies élémentaires en haut vide et en pression partielle ; détection d’éléments légers (B à) et large plage d’analyses.
Logiciel associé pour acquisition, quantification, cartographies et déconvulsion.

Logiciel de détection automatique de particules

Outil de type Gun Shot Residue (GSR) ou équivalent : détection automatique de particules par Z équivalent, gestion de ~18 échantillons en parallèle, jusqu’à ~10 000 particules par classe.
Intégration avec acquisition EDS, étalonnage et associabilité des données EDS.

Injecteurs de gaz et dispositifs associés

Au moins deux injecteurs de gaz pour dépôts (platine, tungstène), dispositif Plasma Cleaner pour nettoyage carboné en chambre.
Dispositif de micro-prélèvement/lamella prep assisté par FIB (prélèvement de micro-objets, lamelles, pinces en option).

Logiciels, automatisation et scripts

API et scripts Python pour contrôle à distance, environnement de développement et outils d’aide au codage.
Automatisation de préparation de lamelles (cut, thinning), assemblage et corrélation de grandes cartographies, reconstruction 3D et post-traitement d’images et spectres.

Aspects informatique et documentation

Systèmes de pilotage (PC), export vers MS Office, configuration matérielle (stockage, écrans), exigences cybersécurité et gestion de l’obsolescence logicielle.
Fourniture de manuels FR/EN, liste consommables et pièces de rechange, documentation technique détaillée.

Formation et recette

Formation sur site pour trois utilisateurs couvrant usages, maintenance et logiciels EDS/FIB (contenu à préciser).
Fourniture de protocoles de tests et rapport d’analyse d’échantillon représentatif GSR (spectres et images pour chaque particule) pour validation des performances.

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