Fourniture d'une machine de lithographie laser avancée avec système de chargement automatique

CNRS
Voir la source
Date limite22 septembre 2025 à 14 h
LocalisationToulouse (31)
Durée
48 mois à compter de la notification
Budget
Non précisé

Prestations techniques demandées

Le présent marché public a pour objet la fourniture, la livraison, l’installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie laser avancée. Les prestations sont décomposées comme suit :

  1. Fourniture, livraison, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie laser avancée
    • Machine dédiée au traitement de masques et substrats avec des spécifications techniques précises (dimensions, poids, etc.).
    • Comprend un système de visualisation, un système auto-focus, et un système de transfert automatique.
    • Pilotage via un ordinateur industriel avec mise à jour des logiciels pendant 5 ans.
    • Formation pour le personnel du LAAS sur l'utilisation et la maintenance de l'équipement.

  1. Fourniture, livraison, installation et mise en service d’une tête d’écriture neuve avec système auto-focus

    • Tête d’écriture permettant une écriture focalisée pour des motifs de taille minimale 0.6 µm.

  2. Fourniture de cassettes de chargement

    • Pour photo-masques de taille 4’’ : Accepte au moins 10 photo-masques de dimensions 4’’ x 4’’ x 0.09’’.
    • Pour photo-masques de taille 5’’ : Accepte au moins 10 photo-masques de dimensions 5’’ x 5’’ x 0.09’’.
    • Pour photo-masques de taille 7’’ : Accepte au moins 5 photo-masques de dimensions 7’’ x 7’’ x 0.12’’.
    • Pour substrats de diamètre 100 mm : Accepte au moins 10 substrats de diamètre 100 mm et d’épaisseur 0.5 mm.
    • Pour substrats de diamètre 150 mm : Accepte au moins 10 substrats de diamètre 150 mm et d’épaisseur 0.75 mm.

  3. Extension de garantie de 12 mois

    • Possibilité de commander une extension de garantie durant la validité de l’accord-cadre, avec un maximum de trois fois la prestation annuelle.

Voir tous les détails

Cahier des charges, budget, contacts...

Préparez votre réponse

Critères d'évaluation

PondérationCritère

Voir tous les détails

Cahier des charges, budget, contacts...

Visite de site

Optionnelle

Date(s)

Non précisé

Lieu

Non précisé

Échantillons

Non requis

Préparez votre réponse avec notre IA experte du marché