Fourniture, livraison, installation, mise en service et formation à l’utilisation d’un système de lithographie électronique

CNRS
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Fiche synthétique du marchés public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.

Date limite17 octobre 2025 à 10 h
LocalisationStrasbourg (67)
Durée
18 mois à compter de la date de réception de la notification du marché
Budget
Non précisé

Prestations techniques demandées

  1. Fourniture, livraison, installation, mise en service et formation

    • Fourniture d'un système de lithographie électronique complet, intégrant tous les éléments nécessaires à son fonctionnement en salle blanche.
    • Installation et mise en service de l'équipement, avec formation à l'utilisation pour permettre un accès en libre-service.

  2. Spécifications techniques

    • Microscope électronique :
      • Source d'électrons à effet de champ, avec une gamme de tension d'accélération de 500V à 30kV.
      • Détecteurs InLens et ETD, caméra CCD pour inspection visuelle, picoampèremètre pour mesures précises.
      • Platine motorisée avec mouvements en 5 axes, précision de déplacement au nanomètre.
    • Générateur de motif :
      • Balayage vectoriel avec faisceau ponctuel, résolution de 20 bits pour la position du faisceau.
    • Système de pompage :
      • Groupe de pompage primaire sec, contrôle automatisé, jauges de vide critiques.
    • Système de refroidissement :
      • Chiller eau/eau, raccordement au microscope avec tubes de 5m minimum.
    • Contrôle informatique :
      • Système d'exploitation de dernière génération, logiciel intuitif avec fonctionnalités avancées pour la lithographie.

  1. Garantie, maintenance et support

    • Garantie de 12 mois couvrant pièces, main-d'œuvre et déplacements.
    • Maintenance préventive et corrective, avec visites annuelles.
    • Support technique disponible par téléphone ou mail, intervention sous 72 heures.

  2. Tests de validité et admission du matériel

    • Tests préalables à la livraison, incluant des tests de résolution, vitesse d'écriture, précision de raccords de champs, et alignement.
    • Tests de performances à la réception finale, avec procès-verbal des résultats.

  3. Prestations supplémentaires éventuelles (PSE)

    • PSE1 : Extension de la maintenance et de la garantie pour 24 mois supplémentaires.
    • PSE2 : Fourniture d'un générateur de motifs rapide.
    • PSE3 : Fourniture d'un détecteur supplémentaire.
    • PSE4 : Reprise de l'ancien système de lithographie.
    • PSE5 : Mise en place d'un système de correction des effets de proximité.

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