Fourniture et installation d’un système de photolithographie par écriture directe

Le contrat porte sur la fourniture et l’installation d’un système de photolithographie par écriture directe au Laboratoire de Physique de la Matière Condensée de l’Ecole polytechnique. Voici les prestations techniques demandées :

Prestation de base :

• Fourniture et installation d’un système de photolithographie :
  • Deux sources lumineuses d’écriture à des longueurs d’onde de 405 nm et de 365 nm.
  • Résolution spatiale choisie par l’utilisateur entre 0.6 µm et 5 µm.
  • Vitesse d’écriture entre 15 mm²/minute (0.6 µm) et 180 mm²/minute (5 µm).
  • Surface maximale d’écriture de 195 mm x 195 mm.
  • Système automatique de sélection de taille minimale de motif.
  • Autofocus fonctionnel pour toutes les tailles d’échantillon.
  • Système de centrage automatique de l’échantillon.
  • Table optique anti-vibrations.
  • Logiciel de contrôle acceptant plusieurs formats de fichiers.
  • Ordinateur avec logiciel de contrôle installé.
  • Alimentation électrique conforme (220 V à 240 V).
  • Matériel fourni avec notice d’utilisation en français ou anglais.
  • Garantie d’une durée minimum d’un an.