Générateurs d'ozone pour ALD 300 mm

Spécifications techniques principales

• Débit volumique continu et stable requis : 5 Slm (à pression ambiante).
• Concentration cible : 300 g/Nm3 à 20°C (environ 18 % en masse).
• Possibilité d'intégrer le destructeur dans la même armoire que le générateur afin de limiter l'encombrement.

Interface et intégration machine

• Interface de communication et protocoles compatibles avec ASM XP8 / Synergis pour l'interfaçage et le contrôle des générateurs.
• Fourniture des éléments nécessaires à l'élaboration des PID fluidiques et électriques (Annexe H : datasheet d'identification des risques) pour validation par le donneur d'ordre avant hook‑up.

Documentation et conformité

• Documentation technique complète en langue française : notice d'installation, manuel de maintenance, instructions de sécurité, fiches techniques et schémas PID/P&ID.
• Conception et choix des matériaux compatibles avec les fluides et caractéristiques des réseaux fluides indiqués (tableaux de caractéristiques, traitements et recyclage).

Installation, mise en service et assistance

• Aide à l'installation et au démarrage si demandée, et accompagnement pour l'interfaçage/hook‑up avec l'équipement ASM XP8.
• Travaux d'hook‑up/fit‑up engagés après validation des PID fournis par le fournisseur.

Contraintes de fonctionnement

• Équipements conçus pour fonctionner dans un environnement de salle blanche (classification ISO 14644‑1, classes à prendre en compte : ISO 3 à ISO 6 selon emplacement).
• Conception adaptée aux conditions ambiantes de référence : température de l'ordre de 21 ± 1°C et humidité relative d'environ 45 % ± 5 %.
• Prise en compte des exigences de compatibilité et de traitement des effluents/flux fluides (eau, azote, ventilation, etc.).