Fourniture d'équipements de mesure, d'usinage et de photolithographie

Université de Rennes
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Fiche synthétique du marché public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.

Date limite
22 mai 2026 à 09 h
Localisation
Rennes (35)
Durée
Délai maximal de livraison 8 mois ; garanties : Lot 1 et Lot 3 = 1 an, Lot 2 = 3 ans
Budget
Non précisé

Description technique des équipements demandés

Lot 1 — Système de bras robotisé pour mesures d'antennes

  • Système robotisé intégré dans une chambre anéchoïque pour positionnement d'une sonde cylindrique autour d'objets sous test.
  • Géométrie de mesure : sphère de mesure diamètre ≥ 1000 mm ; centre de sphère situé à ~2 m de hauteur ; positions définies via fichier de positions (.csv/.txt).
  • Sonde : forme cylindrique ~200 mm de longueur, section Ø ~400 mm, masse maximale ≈ 4 kg ; axe de mesure tangent à la surface de mesure ; rotation autour de l'axe Z possible.
  • Cinématique et performances : modes positionné et continu (trajectoires optimisées par polynômes) ; résolution spatiale cible ≤ 1 mm ; précision ≤ 0,2 mm ; précision angulaire ≤ 0,1° ; répétabilité ≤ ±0,05 mm.
  • Traçabilité des mesures : enregistrement des coordonnées (XS, YS, ZS, RxS, RyS, RzS) et synchronisation avec tracker laser pour localisation réelle.
  • Hybridation possible avec systèmes de scanner champ proche et bases compactes selon agencement.
  • Sécurité : conformité minimale ISO 10218, zones d'exclusion/masques, arrêts d'urgence et protections physiques.
  • Logistique : fourniture des moyens de transport, manutention et installation ; exigences d'emballage et accès de manutention.
  • Recette et documentation : démonstration, recette en 3 phases (plans, recette usine, recette site), manuel opérateur, documentation maintenance et formation.

Lot 2 — Cellule de prototypage de précision (centre d'usinage 5 axes)

  • Machine 5 axes haute vitesse avec changeur d'outils (≥ 24 postes) pour usinage de pièces de petites dimensions et géométries complexes ; prise en charge de matériaux tendres et légers (polymères, aluminium, cuivre, laiton, etc.).
  • Courses minimales : X/Y/Z = 200 mm ; axes A/B : ±10° à ±100° (selon besoin) ; axe C continu 360°.
  • Magasin outils : minimum 24 postes ; gestion automatique de chargement d'outils ; plages diamètres 10–120 mm.
  • Contrôle dimensionnel intégré : palpeurs / systèmes de mesure 3D pour outil et pièce ; étalonnage contact/laser ; précision et répétabilité à l'ordre du µm.
  • Gestion des fluides et copeaux : lubrification adaptée pour aluminium/laiton, filtration du liquide de coupe, bac de récupération ; option convoyeur de copeaux (PSE).
  • Alimentation : exigences électriques, pneumatiques et circuits thermiques pour stabilité dimensionnelle et asservissement thermique.
  • Commande et logiciels : CN avancée compatible with PowerMill (post-processeur), interface en français, options de télédiagnostic et connexion réseau.
  • Sécurité machine-outil : carters, protections, séparation puissance/commande, arrêts d'urgence, conformité normes sécurité.
  • Livraison/installation : montage, formation initiale et avancée (prévision 3 opérateurs), documentation en français, support technique et télémaintenance (≥ 3 ans selon spécification).
  • Recette : plan d'essai et pièces d'essai fournis ; recettes en usine et sur site selon plan fourni.

Lot 3 — Machine d'alignement et d'insolation photolithographique

  • Fonction : alignement et insolation UV (365–405 nm) pour substrats Si, verre/quartz, wafers et masques ; modes hard contact, vacuum contact, soft contact.
  • Substrats : wafers 50, 75, 150 mm (épaisseurs 100 µm–800 µm, prise en charge de plaquettes amincies) ; substrats verre/quartz 50×50 mm et 100×100 mm (épaisseurs 100 µm–1 mm).
  • Chargement : navettes et supports pour multiples formats ; vacuum activable selon épaisseur ; dispositifs de pré-centrage et sécurité mécanique.
  • Mécanique et optique : déplacement X/Y/rotation (theta), axes motorisés, caméras pour alignement TSA/BSA, résolution et vitesse adaptées à microalignement.
  • Source et insolation : source UV 365–405 nm, exigence d'uniformité de puissance et cartographie d'uniformité (ex. 10 mesures représentatives).
  • Intégration et conditions : systèmes anti‑vibration, interfaces logicielles, installation, formation et documentation en langue française.
  • Garantie et maintenance : garantie de base (1 an) et options PSE pour extension, maintenance et pièces détachées.

Exigences transversales communes

  • Évolutivité logicielle et matérielle, informations de maintenance et plans de calibrage.
  • Prestation d'installation complète, formation des utilisateurs, documentation technique et rapports de recette.
  • Possibilité d'options techniques sous forme de prestations supplémentaires éventuelles (PSE) pour extension des capacités.

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Critères d'évaluation

PondérationCritère

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Visite de site

Optionnelle

Date(s)

Non précisé

Lieu

Campus Beaulieu, Bâtiments 11B et 11C, Rennes (visites organisées par lot)

Modalités

Lot 1 : visite obligatoire (contact : Laurent Le Coq, laurent.le-coq@univ-rennes.fr) avec attestation de visite à joindre. Lot 2 : visite possible/non obligatoire (contact : Xavier Morvan, xavier.morvan@univ-rennes.fr). Lot 3 : visite possible selon dispositions du dossier contractuel (coordonnées précisées dans les pièces contractuelles).

Échantillons

Requis

Adresse de livraison

Université de Rennes – Direction des Affaires Financières et de la Politique d'Achat, 2 Rue du Thabor, Rennes

Modalités de livraison

Remise d'une pièce d'essai et d'un plan de recette (PlanEssai / PlanRecette) selon les délais fixés ; pièces/bruts et programmes d'essai fournis par l'acheteur pour la recette sur site. Détails et conditions de remise à préciser dans le dossier technique.

Produits à fournir

  • Pièce d'essai PlanEssai (PlanRecette)
    x1 (conforme au plan de recette fourni)

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