Fourniture d'un équipement de système de tests sous pointes
Fiche synthétique du marchés public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.
Prestations Techniques Demandées
Le laboratoire CEA-LETI/DRT/DCOS/SCCS/LCEF projette d’acheter un système de tests sous pointes (prober) dédié aux mesures électriques sur des composants micro-électroniques. Voici les détails des prestations techniques demandées :
- Objet de l'équipement :
- Système de tests sous pointes compatible avec des plaques de 200 et 300 mm.
- Chuck thermique allant de la température ambiante à +200°C.
- Compatible avec le parc de probers existants et les programmes de tests.
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Spécifications procédés ou techniques de mesure :
- Caractérisations classiques des composants micro-électroniques sur wafer.
- Mesures sur composants mémoire (signaux analogiques et digitaux).
- Fonctionnement en mode manuel et automatique via pilotage GPIB/Ethernet.
- Chargement compatible FOUP 300mm et cassette/panier 200mm.
- Système de porte carte à pointes personnalisé.
- Système optique et caméra de visualisation de la zone de test.
- Alignement et détection automatique des wafers.
- Mesure et correction d’épaisseur des pointes.
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Spécifications techniques de l'équipement :
- Lignes de gaz/chimie équipées de filtres et débitmètres numériques.
- Suivi de la consommation des équipements via un logiciel.
- Gestion des gaz inflammables et contrôle de température.
- Spécifications de vibrations et configuration informatique.
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Conditions de livraison des équipements :
- Équipements livrés propres et conditionnés de manière appropriée.
- Montage des filtres des chambres d’environnement à la charge du Contractant.
Ces prestations doivent être réalisées conformément aux spécifications détaillées dans le cahier des charges.
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Critères d'évaluation
Pondération | Critère |
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