Fourniture d'un équipement de caractérisation pour la mesure de la résistivité et du produit µτ

Spécifications Procédés ou Techniques de Mesure

• Définition des méthodes et techniques de mesure à utiliser pour garantir la précision et la fiabilité des résultats.

Spécifications Techniques Équipement

• Description Équipement : Détails sur les équipements à fournir, y compris les systèmes de pompage, lignes de gaz/chimie, et gestion de la consommation.
• Hardware : Exigences spécifiques pour le matériel, y compris les normes à respecter (SEMI E5, E30, etc.).
• Software : Configuration informatique requise, y compris la connexion au réseau interne et externe, ainsi que les licences nécessaires.
• Transfert et Manipulation des Tranches : Caractéristiques des échantillons à traiter, ports de chargement, et fiabilité du système de handling.
• Mini Environnement : Exigences pour le contrôle de l'air et la protection contre les décharges électrostatiques.
• Interface avec le Reste de la Salle Blanche : Compatibilité avec l'environnement de la salle blanche, respect des normes de propreté.