Acquisition d'une microsonde électronique à haute résolution spatiale

Description du besoin
Acquisition d'une microsonde électronique à haute résolution spatiale pour analyser les éléments du lithium à l'uranium. La microsonde doit disposer d'une source d'émission d'électrons à effet de champs (FEG) pour permettre une détection élémentaire à l'échelle du nanomètre.

Spécifications techniques

• Colonne électronique :
  • Source d'électrons haute brillance opérationnelle entre 1 kV et 30 kV.
  • Détecteur d'électrons rétrodiffusée et d'électrons secondaires.
  • Résolution d'au moins 2,5 nm en électrons secondaires et 20 nm en analytique.
  • Détecteur de courant de sonde par cage de Faraday intégrée.
• Système de microscopie optique :
  • Éclairage en réflexion, champs de vision d'environ 300 µm x 300 µm, mise au point automatique.
• Spectromètres de rayons X :
  • Quatre spectromètres à dispersion de longueurs d'ondes (WDS) pour la détection des éléments allant du béryllium (Be) à l'uranium (U).
  • Un spectromètre d'analyse de rayons X de très faible énergie pour la détection du lithium et des éléments légers.
• Système de vide :
  • Système de vide secondaire par pompe ionique et pompe turbo moléculaire.
• Système de refroidissement d'eau :
  • Système de refroidissement eau/eau.
• Portes échantillons :
  • Platine pour 6 échantillons circulaires de 2,5 cm de diamètre et 3 échantillons de type lames minces (4,5 cm x 3 cm).